Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC	3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m^-1·K^-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi acoperit cu carbură de siliciu Suport pentru napolitană cu acoperire SiC Capac pentru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor Acoperire CVD SiC Element de încălzire Purtător de napolitane Aixtron Satellite Receptor SiC Coating Epi Piese de grafit semilună de acoperire SiC

View as

E-chuck acoperit sic

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor principal de e-chucks acoperiți cu SIC în China. SIC Coated E-Chuck este special conceput pentru procesul de gravare Gan Wafer, cu performanțe excelente și durată de viață lungă, pentru a oferi suport complet pentru fabricarea dvs. de semiconductori. Abilitatea noastră puternică de procesare ne permite să vă oferim susceptitorul ceramic SIC pe care îl doriți. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Placă de gravură sic icp

Veteksemicon oferă plăci de gravură ICP de înaltă performanță, concepute pentru aplicații de gravură ICP în industria semiconductorilor. Proprietățile sale unice de material îi permit să funcționeze bine în medii de coroziune de temperatură ridicată, presiune ridicată și coroziune chimică, asigurând performanțe excelente și stabilitate pe termen lung în diferite procese de gravare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Unitate de încălzire a grafitului

Unitatea de încălzire a grafitului cu semiconductor Vetek este o soluție de încălzire industrială de înaltă performanță, realizată din material grafit de înaltă puritate, care poate oferi un efect de încălzire precis și eficient. Unitatea de încălzire a grafitului este utilizată pe scară largă în semiconductor, electronică, ceramică și alte câmpuri. Bine ați venit la ancheta dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Susceptor cu LED UV acoperit cu sic

Susceptorul cu LED -uri UV UV acoperite cu SIC este proiectat pentru procesul MOCVD pentru a sprijini creșterea eficientă și stabilă a stratului epitaxial cu LED -uri profunde. Vetek Semiconductor este un producător de frunte și furnizor de susceptitori LED UV UV acoperiți cu SIC în China. Avem experiență bogată și am stabilit relații de cooperare pe termen lung cu mulți producători epitaxiali LED. Suntem principalul producător intern de produse susceptor pentru LED-uri. După ani de verificare, durata noastră de viață a produsului este la fel cu cea a producătorilor internaționali de top. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Providența de epitaxie condusă

Susceptorul de epitaxie LED Vetek Semiconductor este proiectat pentru fabricarea epitaxială cu LED -uri albastre și verzi. Combină acoperirea cu carbură de siliciu și grafitul SGL și are duritate ridicată, rugozitate scăzută, stabilitate termică bună și stabilitate chimică excelentă. Susceptorul de epitaxie LED este unul dintre cele mai remarcabile produse Vetek Semiconductor. Așteptăm cu nerăbdare întrebarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD de înaltă puritate CVD sic materie primă

Materia primă de înaltă puritate CVD SIC preparată de CVD este cel mai bun material sursă pentru creșterea cristalului din carbură de siliciu prin transportul de vapori fizici. Densitatea materiei prime CVD SIC de înaltă puritate furnizată de Vetek Semiconductor este mai mare decât cea a particulelor mici formate prin combustie spontană a gazelor care conțin Si și C și nu necesită un cuptor de dedicat sinterizare și are o rată de evaporare aproape constantă. Poate crește cristale SIC de înaltă calitate. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de siliciu

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

E-chuck acoperit sic

Placă de gravură sic icp

Unitate de încălzire a grafitului

Susceptor cu LED UV acoperit cu sic

Providența de epitaxie condusă

CVD de înaltă puritate CVD sic materie primă

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare