Produse

Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.


Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.


La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.


Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.


Piese de reactor pe care le putem face:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC 3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor 2~10μm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate termică 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare 2700℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
MOCVD Epitaxial Wafer

MOCVD Epitaxial Wafer

Vetek Semiconductor a fost angajat în industria de creștere epitaxială semiconductor de mult timp și are abilități bogate de experiență și proces în produsele susceptatoare de wafer epitaxial MOCVD. Astăzi, Vetek Semiconductor a devenit principalul producător și furnizor de susceptitori de placă epitaxială MOCVD din China, iar susceptitorii wafer pe care îi oferă au jucat un rol important în fabricarea napolitanelor epitaxiale GAN și a altor produse.
Cuptor vertical inel acoperit cu SiC

Cuptor vertical inel acoperit cu SiC

Inelul acoperit cu SiC pentru cuptor vertical este o componentă special concepută pentru cuptorul vertical. VeTek Semiconductor poate face tot ce este mai bun pentru dvs. atât în ​​ceea ce privește materialele, cât și procesele de fabricație. În calitate de producător și furnizor de top de inel acoperit cu SiC pentru cuptor vertical în China, VeTek Semiconductor are încredere că vă putem oferi cele mai bune produse și servicii.
Gan Epitaxial Undertaker

Gan Epitaxial Undertaker

Ca furnizor de susceptitori epitaxiali GAN de frunte în China, Vetek Semiconductor Gan Epitaxial Susceptor este un susceptor de înaltă precizie, proiectat pentru procesul de creștere epitaxială GAN, utilizat pentru a sprijini echipamente epitaxiale precum CVD și MOCVD. În fabricarea dispozitivelor GAN (cum ar fi dispozitive electronice electronice de putere, dispozitive RF, LED-uri etc.), susceptorul epitaxial GAN ​​poartă substratul și obține o depunere de înaltă calitate a filmelor subțiri GAN sub un mediu de temperatură ridicată. Bine ați venit la ancheta dvs. ulterioară.
Transportator de wafer acoperit cu sic

Transportator de wafer acoperit cu sic

În calitate de furnizor și producător de frunte de napolitane acoperite cu SiC din China, suportul de napolitană acoperit cu SiC de la VeTek Semiconductor este realizat din grafit de înaltă calitate și acoperire CVD SiC, care are o stabilitate superioară și poate funcționa mult timp în majoritatea reactoarelor epitaxiale. VeTek Semiconductor are capacități de procesare de vârf în industrie și poate îndeplini diferitele cerințe personalizate ale clienților pentru purtătorii de napolitane acoperiți cu SiC. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să stabilească o relație de cooperare pe termen lung cu tine și să crească împreună.
SiC Coating Graphite MOCVD încălzitor

SiC Coating Graphite MOCVD încălzitor

Vetek Semiconductor produce încălzitor MOCVD de grafit de acoperire SIC, care este o componentă cheie a procesului MOCVD. Pe baza unui substrat de grafit de înaltă puritate, suprafața este acoperită cu un acoperire SIC de înaltă puritate pentru a oferi o stabilitate excelentă la temperatură ridicată și o rezistență la coroziune. Cu servicii de produse de înaltă calitate și extrem de personalizate, încălzitorul de grafit SiC Graphite MOCVD de la Vetek Semiconductor este o alegere ideală pentru a asigura stabilitatea procesului MOCVD și calitatea depunerii de film subțire. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău.
Epi Susceptor acoperit cu carbură de siliciu

Epi Susceptor acoperit cu carbură de siliciu

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor de produse de acoperire SIC din China. Susceptorul EPI acoperit cu carbură de siliciu de la Vetek Semiconductor are nivelul de cea mai bună calitate al industriei, este potrivit pentru mai multe stiluri de cuptoare de creștere epitaxială și oferă servicii de produse extrem de personalizate. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul dvs. pe termen lung în China.
În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept