Acoperire cu carbură de siliciu

Susceptorul de wafer acoperit cu CVD SIC de la Veteksemicon este o soluție de ultimă oră pentru procesele epitaxiale semiconductoare, oferind o puritate ultra-înaltă (≤100 ppb, certificată ICP-E10) și o stabilitate termică/chimică excepțională pentru creșterea rezistentă la contaminare a GAN, SIC și Silicon Epi-Layers. Proiectată cu tehnologie CVD de precizie, acceptă napolitane de 6 ”/8”/12 ”, asigură o tensiune termică minimă și rezistă la temperaturi extreme până la 1600 ° C.

Susceptorul nostru planetar acoperit SIC este o componentă de bază în procesul de temperatură ridicată de fabricare a semiconductorilor. Proiectarea sa combină substratul de grafit cu acoperirea cu carbură de siliciu pentru a obține optimizarea cuprinzătoare a performanței de gestionare termică, a stabilității chimice și a rezistenței mecanice.

Inelul nostru de etanșare acoperit cu SIC pentru epitaxie este o componentă de etanșare de înaltă performanță bazată pe compozite de grafit sau carbon de carbon acoperit cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SIC) prin depunerea de vapori chimici (CVD), care combină stabilitatea termică a grafitului cu rezistența extremă a mediului (de exemplu, MOCVD, MOCVD, ME).

Susceptorul de grafit EPI Veteksemicon unic Wafer este proiectat pentru carbură de siliciu de înaltă performanță (SIC), nitrură de galiu (GAN) și alt proces epitaxial semiconductor de a treia generație și este componenta de bază a foii epitaxiale de înaltă precizie în producția de masă.

O componentă importantă utilizată în procesul de gravură de fabricație a plafonului este inelul de focalizare a gravurii plasmatice, a cărui funcție este de a ține placa de placă pentru a menține densitatea plasmatică și de a preveni contaminarea laturilor de placă.

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor principal de e-chucks acoperiți cu SIC în China. SIC Coated E-Chuck este special conceput pentru procesul de gravare Gan Wafer, cu performanțe excelente și durată de viață lungă, pentru a oferi suport complet pentru fabricarea dvs. de semiconductori. Abilitatea noastră puternică de procesare ne permite să vă oferim susceptitorul ceramic SIC pe care îl doriți. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.