Produse

Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.


Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.


La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.


Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.


Piese de reactor pe care le putem face:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC 3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor 2~10μm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate termică 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimare 2700℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300W·m-1·K-1
Expansiune termică (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Veeco a condus EP

Veeco a condus EP

Susceptorul EPI Veeco LED Vetek Semiconductor este proiectat pentru creșterea epitaxială a LED -urilor roșii și galbene. Materialele avansate și tehnologia de acoperire SIC CVD asigură stabilitatea termică a susceptorului, ceea ce face ca câmpul de temperatură să fie uniform în timpul creșterii, reducând defectele de cristal și îmbunătățind calitatea și consistența napolitanelor epitaxiale. Este compatibil cu echipamentul de creștere epitaxială al Veeco și poate fi integrat perfect în linia de producție. Proiectarea precisă și performanța fiabilă ajută la îmbunătățirea eficienței și la reducerea costurilor. Aștept cu nerăbdare întrebările dvs.
Inel de focalizare SIC CVD

Inel de focalizare SIC CVD

Vetek Semiconductor este un producător intern de frunte și furnizor de inele de focalizare CVD SIC, dedicat furnizării de soluții de produse de înaltă performanță, de înaltă performanță pentru industria semiconductorilor. Inelele de focalizare CVD SIC Vetek Semiconductor folosesc tehnologia avansată de depunere de vapori chimici (CVD), au o rezistență excelentă la temperatură ridicată, rezistență la coroziune și conductivitate termică și sunt utilizate pe scară largă în procesele de litografie semiconductoare. Întrebările dvs. sunt întotdeauna binevenite.
AIXTRON G5+ Componenta de plafon

AIXTRON G5+ Componenta de plafon

Vetek Semiconductor a devenit un furnizor de consumabile pentru multe echipamente MOCVD, cu capacitățile sale superioare de procesare. Componenta AIXTRON G5+ Plafon este unul dintre cele mai recente produse ale noastre, care este aproape același cu componenta originală ai AIXTRON și a primit feedback bun de la clienți. Dacă aveți nevoie de astfel de produse, vă rugăm să contactați Vetek Semiconductor!
Susceptor de butoi de grafit acoperit cu sic

Susceptor de butoi de grafit acoperit cu sic

Susceptorul de butoi de grafit acoperit cu semiconductor Vetek SiC este o tavă de placă de înaltă performanță concepută pentru procese de epitaxie semiconductor, oferind o conductivitate termică excelentă, o rezistență la temperatură ridicată și chimică, o suprafață de înaltă puritate și opțiuni personalizabile pentru a îmbunătăți eficiența producției. Bine ați venit la ancheta dvs. ulterioară.
MOCVD Epitaxial Wafer

MOCVD Epitaxial Wafer

Vetek Semiconductor a fost angajat în industria de creștere epitaxială semiconductor de mult timp și are abilități bogate de experiență și proces în produsele susceptatoare de wafer epitaxial MOCVD. Astăzi, Vetek Semiconductor a devenit principalul producător și furnizor de susceptitori de placă epitaxială MOCVD din China, iar susceptitorii wafer pe care îi oferă au jucat un rol important în fabricarea napolitanelor epitaxiale GAN și a altor produse.
Cuptor vertical inel acoperit cu SiC

Cuptor vertical inel acoperit cu SiC

Inelul acoperit cu SiC pentru cuptor vertical este o componentă special concepută pentru cuptorul vertical. VeTek Semiconductor poate face tot ce este mai bun pentru dvs. atât în ​​ceea ce privește materialele, cât și procesele de fabricație. În calitate de producător și furnizor de top de inel acoperit cu SiC pentru cuptor vertical în China, VeTek Semiconductor are încredere că vă putem oferi cele mai bune produse și servicii.
În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept