Acoperire cu carbură de siliciu

Inelul nostru de etanșare acoperit cu SIC pentru epitaxie este o componentă de etanșare de înaltă performanță bazată pe compozite de grafit sau carbon de carbon acoperit cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SIC) prin depunerea de vapori chimici (CVD), care combină stabilitatea termică a grafitului cu rezistența extremă a mediului (de exemplu, MOCVD, MOCVD, ME).

Susceptorul de grafit EPI Veteksemicon unic Wafer este proiectat pentru carbură de siliciu de înaltă performanță (SIC), nitrură de galiu (GAN) și alt proces epitaxial semiconductor de a treia generație și este componenta de bază a foii epitaxiale de înaltă precizie în producția de masă.

O componentă importantă utilizată în procesul de gravură de fabricație a plafonului este inelul de focalizare a gravurii plasmatice, a cărui funcție este de a ține placa de placă pentru a menține densitatea plasmatică și de a preveni contaminarea laturilor de placă.

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor principal de e-chucks acoperiți cu SIC în China. SIC Coated E-Chuck este special conceput pentru procesul de gravare Gan Wafer, cu performanțe excelente și durată de viață lungă, pentru a oferi suport complet pentru fabricarea dvs. de semiconductori. Abilitatea noastră puternică de procesare ne permite să vă oferim susceptitorul ceramic SIC pe care îl doriți. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Veteksemicon oferă plăci de gravură ICP de înaltă performanță, concepute pentru aplicații de gravură ICP în industria semiconductorilor. Proprietățile sale unice de material îi permit să funcționeze bine în medii de coroziune de temperatură ridicată, presiune ridicată și coroziune chimică, asigurând performanțe excelente și stabilitate pe termen lung în diferite procese de gravare.

Unitatea de încălzire a grafitului cu semiconductor Vetek este o soluție de încălzire industrială de înaltă performanță, realizată din material grafit de înaltă puritate, care poate oferi un efect de încălzire precis și eficient. Unitatea de încălzire a grafitului este utilizată pe scară largă în semiconductor, electronică, ceramică și alte câmpuri. Bine ați venit la ancheta dvs. ulterioară.