Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC	3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m^-1·K^-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi acoperit cu carbură de siliciu Suport pentru napolitană cu acoperire SiC Capac pentru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor Acoperire CVD SiC Element de încălzire Purtător de napolitane Aixtron Satellite Receptor SiC Coating Epi Piese de grafit semilună de acoperire SiC

View as

CVD SIC WAFER WAFER EPI Susceptor

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Wafer EPI Susceptor este o componentă indispensabilă pentru creșterea epitaxiei SIC, oferind un management termic superior, rezistență chimică și stabilitate dimensională. Alegând Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Wafer EPI Susceptor, îmbunătățiți performanța proceselor dvs. MOCVD, ceea ce duce la produse de calitate superioară și o eficiență mai mare în operațiunile dvs. de fabricație a semiconductorilor. Bine ați venit la întrebările dvs. suplimentare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD SIC Susceptor de grafit de acoperire

Vetek Semiconductor CVD SiC Susceptor de grafit este unul dintre componentele importante din industria semiconductorilor, cum ar fi creșterea epitaxială și procesarea waferului. Este utilizat în MOCVD și alte echipamente pentru a sprijini prelucrarea și manipularea napolitanelor și a altor materiale de înaltă precizie. Vetek Semiconductor are principalul susceptor de grafit acoperit SIC din China și capacități de producție și fabricare a susceptitorilor de grafit acoperite cu TAC și așteaptă cu nerăbdare consultarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD SIC Element de încălzire a acoperirii

Elementul de încălzire a acoperirii CVD SIC joacă un rol de bază în materialele de încălzire în cuptorul PVD (depunerea evaporării). Vetek Semiconductor este un important producător de elemente de încălzire acoperite cu BCV SIC din China. Avem capacități avansate de acoperire CVD și vă putem oferi produse personalizate de acoperire CVD SIC. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul dvs. în elementul de încălzire acoperit SIC.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Suport rotativ de grafit

Susceptorul rotativ de grafit de înaltă puritate joacă un rol important în creșterea epitaxială a nitrurii de galiu (procesul MOCVD). Vetek Semiconductor este un producător și furnizor de susceptitori rotativi de grafit în China. Am dezvoltat multe produse de grafit de înaltă puritate bazate pe materiale de grafit de înaltă puritate, care îndeplinesc pe deplin cerințele industriei semiconductorilor. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul dvs. în rotativul susceptitor de grafit.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de grafit de înaltă puritate

Inelul de grafit de înaltă puritate este potrivit pentru procesele de creștere epitaxială GAN. Stabilitatea lor excelentă și performanța superioară le -au făcut utilizate pe scară largă. Vetek Semiconductor produce și produce un inel de grafit de înaltă puritate, lider la nivel mondial, pentru a ajuta industria epitaxiei GAN să continue să progreseze. Veteksemi așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD SIC Susceptor de clătite

În calitate de producător și inovator principal al produselor susceptatoare de clătite CVD SIC din China. Vetek Semiconductor CVD SIC Susceptor de clătite, ca o componentă în formă de disc proiectată pentru echipamentele semiconductoare, este un element cheie pentru a sprijini napolitane cu semiconductor subțire în timpul depunerii epitaxiale la temperaturi ridicate. Vetek Semiconductor se angajează să furnizeze produse susceptitoare de clătite SIC de înaltă calitate și să devină partenerul dvs. pe termen lung în China la prețuri competitive.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de siliciu

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC WAFER WAFER EPI Susceptor

CVD SIC Susceptor de grafit de acoperire

CVD SIC Element de încălzire a acoperirii

Suport rotativ de grafit

Inel de grafit de înaltă puritate

CVD SIC Susceptor de clătite

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare