Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC	3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m^-1·K^-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi acoperit cu carbură de siliciu Suport pentru napolitană cu acoperire SiC Capac pentru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor Acoperire CVD SiC Element de încălzire Purtător de napolitane Aixtron Satellite Receptor SiC Coating Epi Piese de grafit semilună de acoperire SiC

View as

Inel de acoperire SIC CVD

Inelul de acoperire CVD SIC este una dintre părțile importante ale părților de jumătate demonite. Împreună cu alte părți, formează camera de reacție de creștere epitaxială SiC. Vetek Semiconductor este un producător și furnizor de inele de acoperire a CVD SIC profesionist. În conformitate cu cerințele de proiectare ale clientului, putem oferi inelul de acoperire CVD SIC corespunzător la cel mai competitiv preț. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul dvs. pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Susceptor de butoi acoperit cu CVD

Vetek Semiconductor este un producător și inovator principal al susceptorului de grafit acoperit cu CVD SIC în China. Susceptorul nostru de butoi acoperit cu CVD SIC joacă un rol cheie în promovarea creșterii epitaxiale a materialelor semiconductoare pe napolitane cu caracteristicile sale excelente ale produsului. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Susceptor de acoperire MOCVD SIC

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor principal de susceptitori de acoperire MOCVD SIC în China, concentrându -se pe cercetarea și dezvoltarea și producția de produse de acoperire SIC timp de mai mulți ani. Susceptorii noștri de acoperire MOCVD SIC au o toleranță excelentă la temperatură ridicată, o conductivitate termică bună și un coeficient de expansiune termică scăzută, jucând un rol cheie în susținerea și încălzirea napolitanelor cu carbură de siliciu sau siliciu (SIC) și depunerea uniformă a gazelor. Bine ați venit să vă consultați în continuare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Piese de grafit semilună de acoperire SiC

În calitate de producător și furnizor profesionist de semiconductori, VeTek Semiconductor poate furniza o varietate de componente de grafit necesare pentru sistemele de creștere epitaxiale SiC. Aceste părți din grafit semilună de acoperire SiC sunt proiectate pentru secțiunea de intrare a gazului din reactorul epitaxial și joacă un rol vital în optimizarea procesului de fabricație a semiconductorilor. VeTek Semiconductor se străduiește întotdeauna să ofere clienților produse de cea mai bună calitate la cele mai competitive prețuri. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Încălzitor de grafit din zona fierbinte

Încălzitorul de grafit din zona fierbinte Veteksemicon este conceput pentru a gestiona condițiile extreme în cuptoarele cu temperaturi ridicate și pentru a menține performanțe și stabilitate excelente în procese complexe, cum ar fi depunerea de vapori chimici (CVD), creșterea epitaxială și recoacerea la temperaturi ridicate. Veteksemicon se concentrează întotdeauna pe producerea și furnizarea de încălzitoare de grafit din zona caldă de înaltă calitate. Vă invităm sincer să ne contactați.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Încălzitor Veeco MOCVD

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor de produse de încălzire Veeco MOCVD din China. Încălzitorul MOCVD are o puritate chimică excelentă, stabilitate termică și rezistență la coroziune. Este un produs indispensabil în procesul de depunere de vapori chimici organici metalici (MOCVD). Bine ați venit la întrebările dvs. suplimentare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de siliciu

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Inel de acoperire SIC CVD

Susceptor de butoi acoperit cu CVD

Susceptor de acoperire MOCVD SIC

Piese de grafit semilună de acoperire SiC

Încălzitor de grafit din zona fierbinte

Încălzitor Veeco MOCVD

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare