Știri

Ce este acoperirea CVD TAC? - Veteksemi

După cum știm cu toții,carbură de tantalum (TAC)are un punct de topire de până la 3880 ° C, rezistență mecanică ridicată, duritate, rezistență la șoc termic; O bună inerție chimică și stabilitate termică la amoniac, hidrogen, vapori care conțin siliciu la temperaturi ridicate.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Acoperire cu carbură de tantal pe o secțiune transversală microscopică


Acoperire CVD TAC, depunerea chimică în vapori (CVD) deacoperire cu carbură de tantal (TaC)., este un proces pentru formarea unei acoperiri cu densitate ridicată și durabilă pe un substrat (de obicei grafit). Această metodă implică depunerea TAC pe suprafața substratului la temperaturi ridicate, rezultând o acoperire cu o stabilitate termică excelentă și o rezistență chimică.


Principalele avantaje ale acoperirilor CVD TAC includ:


● Stabilitate termică extrem de ridicată: Acoperirea cu carbură de tantalum poate rezista la temperaturi care depășesc 2200 ° C.


●  Rezistență chimică: Acoperirea CVD TAC poate rezista efectiv substanțelor chimice dure, cum ar fi hidrogenul, amoniacul și vaporii de siliciu.


●  Aderență puternică: Acoperirea TaC asigură o protecție de lungă durată fără delaminare.


●  Puritate ridicată: minimizează impuritățile, ceea ce îl face ideal pentru aplicațiile cu semiconductor.


Proprietățile fizice ale acoperirii cu carbură de tantal
Densitatea acoperirii TaC
14.3 (g/cm³)
Emisivitate specifică
0.3
Coeficient de expansiune termică
6,3*10-6/K.
Duritatea acoperirii (HK)
2000 HK
Rezistenţă
1 × 10-5Ohm*cm
Stabilitatea termică
<2500℃
Modificări de mărime a grafitului
-10~-20um
Grosimea acoperirii
≥20um Valoare tipică (35um ± 10um)


Aceste acoperiri sunt deosebit de potrivite pentru medii care necesită o durabilitate ridicată și rezistență la condiții extreme, cum ar fi fabricarea semiconductorilor și procesele industriale la temperaturi ridicate.


În producția industrială, grafitul (Compozit de carbon-carbon) materialele acoperite cu acoperire TaC sunt foarte probabil să înlocuiască grafitul tradițional de înaltă puritate, acoperirea pBN, piesele de acoperire SiC etc. În plus, în domeniul aerospațial, TaC are un potențial mare de a fi utilizat ca antioxidare la temperatură înaltă și acoperire anti-ablație și are perspective largi de aplicare. Cu toate acestea, există încă multe provocări pentru a realiza pregătirea de acoperire TaC densă, uniformă, care nu se descuamează pe suprafața grafitului și pentru a promova producția industrială în masă.


În acest proces, explorarea mecanismului de protecție al acoperirii, inovarea procesului de producție și concurența cu cel mai înalt nivel străin sunt cruciale pentru a treia generație.Creșterea cristalului cu semiconductor și epitaxie.




VeTek Semiconductor este un producător chinez profesionist de produse de acoperire cu carbură de tantal CVD, iar puritatea acoperirii noastre TaC este sub 5 ppm, poate îndeplini cerințele clienților. VeTekSemi principalele produse CVD TaC Coated includ Crezet de acoperire CVD TaC, CVD TAC Coating Wafer Carrier, Suport de acoperire CVD TaCHusa de acoperire CVD TAC,  Inel de acoperire CVD TAC. VeTek Semiconductor se angajează să furnizeze soluții avansate pentru diverse produse de acoperire pentru industria semiconductoarelor. VeTek Semiconductor speră sincer să devină partenerul tău pe termen lung în China.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com

Știri similare
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept