Siliciu pe izolator

Principiul de lucru alVeTek SemiconductorluiSiliciu pe izolatorse bazează în principal pe structura sa unică și pe proprietățile materialelor. Şi Napolitana SOIconstă din trei straturi: stratul superior este un strat de dispozitiv de siliciu monocristal, mijlocul este un strat izolator Buried OXide (BOX), iar stratul inferior este un substrat de siliciu de susținere.

Structura siliciului pe plăci izolatoare (SOI)

Formarea stratului izolator: Silicon On Insulator Wafer este de obicei fabricat folosind tehnologia Smart Cut™ sau tehnologia SIMOX (Separare prin IMplanted OXygen). Tehnologia Smart Cut™ injectează ioni de hidrogen în placheta de siliciu pentru a forma un strat de bule și apoi leagă placa injectată cu hidrogen de siliciul de susținere.napolitana. 

După tratamentul termic, placheta injectată cu hidrogen este despărțită de stratul cu bule pentru a forma o structură SOI.Tehnologia SIMOXimplantează ioni de oxigen de înaltă energie în plachete de siliciu pentru a forma un strat de oxid de siliciu la temperaturi ridicate.

Reducerea capacității parazitare: Stratul BOX alVafer de carbură de siliciuizolează eficient stratul dispozitivului și siliciul de bază, reducând semnificativg capacitate parazita. Această izolație reduce consumul de energie și crește viteza și performanța dispozitivului.

Evitați efectele de blocare: Dispozitivele n-well și p-well dinNapolitana SOIsunt complet izolate, evitând efectul de blocare în structurile CMOS tradiționale. Acest lucru permitenapolitana SOI pentru a fi fabricate la viteze mai mari.

Funcția Etch stop: Thestrat de dispozitiv de siliciu cu un singur cristalși structura stratului BOX a plachetei SOI facilitează fabricarea MEMS și a dispozitivelor optoelectronice, oferind o funcție excelentă de oprire a gravării.

Prin aceste caracteristici,Siliciu pe izolatorjoacă un rol important în prelucrarea semiconductoarelor și promovează dezvoltarea continuă a circuitului integrat (IC) șisisteme microelectromecanice (MEMS)industrii. Așteptăm cu nerăbdare continuarea comunicării și cooperării cu dvs.

Parametrul de specificație al napolitanelor de 200 mm SOL:

Magazine de producție de napolitane cu siliciu pe izolator: