Carbură solidă de siliciu

Carbura de siliciu solid cu semiconductor vetek este o componentă ceramică importantă în echipamentele de gravură cu plasmă, carbură de siliciu solid (CVD carbură de siliciu) Piesele din echipamentul de gravare includInele de focalizare, cap de duș cu gaz, tavă, inele de margine, etc. Datorită reactivității și conductivității scăzute a carburii de siliciu solid (carbură de siliciu CVD) la clor - și gaze de gravură care conțin fluor, este un material ideal pentru inelele de focalizare a echipamentelor de gravare plasmatică și alte componente.

De exemplu, inelul de focalizare este o parte importantă plasată în afara plafonului și în contact direct cu placa, prin aplicarea unei tensiuni pe inel pentru a focaliza plasma care trece prin inel, concentrând astfel plasma pe placă pentru a îmbunătăți uniformitatea procesării. Inelul de focalizare tradițional este realizat din siliciu saucuarţ, siliciu conductiv ca material cu inel de focalizare obișnuit, este aproape aproape de conductivitatea napolitanelor de siliciu, dar deficitul este o rezistență slabă de gravură în plasma care conțin fluor, materialele pieselor pentru mașini de gravură adesea utilizate pentru o perioadă de timp, va exista un fenomen grav de coroziune, reducând grav eficiența producției.

SInel de focalizare Olid sicPrincipiul de lucru：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Comparația inelului de focalizare bazat pe Si și a CVD SIC Focusing Ring ：

Comparația inelului de focalizare bazat pe Si și a inelului de focalizare a CVD SIC
Articol	Si	CVD SIC
Densitate (G/cm³)	2.33	3.21
Band Gap (EV)	1.12	2.3
Conductivitate termică (w/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul elastic (GPA)	150	440
Duritate (GPA)	11.4	24.5
Rezistență la uzură și coroziune	Sărac	Excelent

Vetek Semiconductor oferă piese avansate de carbură de siliciu solid (carbură de siliciu CVD), cum ar fi inelele de focalizare SIC pentru echipamente cu semiconductor. Inelele noastre de focalizare a carburii de siliciu solid depășesc siliciul tradițional în ceea ce privește rezistența mecanică, rezistența chimică, conductivitatea termică, durabilitatea la temperatură ridicată și rezistența la gravură ionică.

Caracteristicile cheie ale inelelor noastre de focalizare SIC includ:

Densitate ridicată pentru rate de gravură reduse.

Izolare excelentă cu un bandgap înalt.

Conductivitate termică ridicată și coeficient scăzut de expansiune termică.

Rezistență la impact mecanic superior și elasticitate.

Duritate ridicată, rezistență la uzură și rezistență la coroziune.

Fabricat folosindDepunere de vapori chimici îmbunătățiți cu plasmă (PECVD)Tehnicile, inelele noastre de focalizare SIC îndeplinesc cerințele din ce în ce mai mari ale proceselor de gravare în fabricarea semiconductorilor. Sunt concepute pentru a rezista la o putere și energie plasmatică mai ridicate, în special înPlasmă cuplată capacită (CCP)sisteme.

Inelele de focalizare SIC de la Vetek Semiconductor oferă performanțe și fiabilitate excepționale în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Alegeți componentele noastre SIC pentru o calitate și o eficiență superioară.

View as

Susceptor cilindric acoperit cu SiC pentru LPE PE2061S

Fiind una dintre cele mai importante fabrici de producție de susceptitori de wafer din China, Vetek Semiconductor a înregistrat progrese continue în produsele susceptor de wafer și a devenit prima alegere pentru mulți producători de wafer epitaxial. Susceptorul de butoi acoperit SIC pentru LPE PE2061S furnizat de Vetek Semiconductor este proiectat pentru LPE PE2061S 4 '' Wafers. Susceptorul are o acoperire durabilă de carbură de siliciu care îmbunătățește performanța și durabilitatea în timpul procesului LPE (Epitaxie în fază lichidă). Bine ați venit la întrebarea dvs., așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Cap de duș cu gaz SiC solid

Capul de duș cu gaz solid SIC joacă un rol major în realizarea uniformă a gazului în procesul de CVD, asigurând astfel încălzirea uniformă a substratului. Vetek Semiconductor a fost profund implicat în domeniul dispozitivelor SIC solide de mai mulți ani și este capabil să ofere clienților capete de duș cu gaz solid personalizate SIC. Indiferent care sunt cerințele dvs., așteptăm cu nerăbdare ancheta dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Proces de depunere a vaporilor chimici Inel de margine SID SILD

Vetek Semiconductor a fost întotdeauna angajat în cercetarea și dezvoltarea și fabricarea materialelor semiconductoare avansate. Astăzi, Vetek Semiconductor a înregistrat un progres deosebit în procesul de depunere a vaporilor chimici produse solide cu inel Sic Edge și este capabil să ofere clienților inele solide de margine SIC extrem de personalizate. Inelele solide de margine SIC asigură o uniformitate de gravură mai bună și o poziționare precisă a plafonului atunci când sunt utilizate cu un much electrostatic, asigurând rezultate de gravare consistente și fiabile. Aștept cu nerăbdare ancheta dvs. și devenind partenerii pe termen lung.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de focalizare a gravurii solide SIC

Inelul de focalizare a gravurii SIC solide este unul dintre componentele de bază ale procesului de gravură a waferului, care joacă un rol în fixarea plafonului, focalizarea plasmei și îmbunătățirea uniformității de gravură a waferului. Ca principalul producător de inele de focalizare SIC din China, Vetek Semiconductor are o tehnologie avansată și un proces matur, și produce un inel de focalizare solid de gravură SIC, care răspunde pe deplin nevoile clienților finali în conformitate cu cerințele clienților. Așteptăm cu nerăbdare întrebarea dvs. și să devenim partenerii pe termen lung.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

În calitate de profesionist Carbură solidă de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Carbură solidă de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Carbură solidă de siliciu

Caracteristicile cheie ale inelelor noastre de focalizare SIC includ:

Susceptor cilindric acoperit cu SiC pentru LPE PE2061S

Cap de duș cu gaz SiC solid

Proces de depunere a vaporilor chimici Inel de margine SID SILD

Inel de focalizare a gravurii solide SIC

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare