Produse

Carbură solidă de siliciu

Carbura de siliciu solid cu semiconductor vetek este o componentă ceramică importantă în echipamentele de gravură cu plasmă, carbură de siliciu solid (CVD carbură de siliciu) Piesele din echipamentul de gravare includInele de focalizare, cap de duș cu gaz, tavă, inele de margine, etc. Datorită reactivității și conductivității scăzute a carburii de siliciu solid (carbură de siliciu CVD) la clor - și gaze de gravură care conțin fluor, este un material ideal pentru inelele de focalizare a echipamentelor de gravare plasmatică și alte componente.


De exemplu, inelul de focalizare este o parte importantă plasată în afara plafonului și în contact direct cu placa, prin aplicarea unei tensiuni pe inel pentru a focaliza plasma care trece prin inel, concentrând astfel plasma pe placă pentru a îmbunătăți uniformitatea procesării. Inelul de focalizare tradițional este realizat din siliciu saucuarţ, siliciu conductiv ca material cu inel de focalizare obișnuit, este aproape aproape de conductivitatea napolitanelor de siliciu, dar deficitul este o rezistență slabă de gravură în plasma care conțin fluor, materialele pieselor pentru mașini de gravură adesea utilizate pentru o perioadă de timp, va exista un fenomen grav de coroziune, reducând grav eficiența producției.


SInel de focalizare Olid sicPrincipiul de lucru

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Comparația inelului de focalizare bazat pe Si și a CVD SIC Focusing Ring :

Comparația inelului de focalizare bazat pe Si și a inelului de focalizare a CVD SIC
Articol Si CVD SIC
Densitate (G/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Conductivitate termică (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Modul elastic (GPA) 150 440
Duritate (GPA) 11.4 24.5
Rezistență la uzură și coroziune Sărac Excelent


Vetek Semiconductor oferă piese avansate de carbură de siliciu solid (carbură de siliciu CVD), cum ar fi inelele de focalizare SIC pentru echipamente cu semiconductor. Inelele noastre de focalizare a carburii de siliciu solid depășesc siliciul tradițional în ceea ce privește rezistența mecanică, rezistența chimică, conductivitatea termică, durabilitatea la temperatură ridicată și rezistența la gravură ionică.


Caracteristicile cheie ale inelelor noastre de focalizare SIC includ:

Densitate ridicată pentru rate de gravură reduse.

Izolare excelentă cu un bandgap înalt.

Conductivitate termică ridicată și coeficient scăzut de expansiune termică.

Rezistență la impact mecanic superior și elasticitate.

Duritate ridicată, rezistență la uzură și rezistență la coroziune.

Fabricat folosindDepunere de vapori chimici îmbunătățiți cu plasmă (PECVD)Tehnicile, inelele noastre de focalizare SIC îndeplinesc cerințele din ce în ce mai mari ale proceselor de gravare în fabricarea semiconductorilor. Sunt concepute pentru a rezista la o putere și energie plasmatică mai ridicate, în special înPlasmă cuplată capacită (CCP)sisteme.

Inelele de focalizare SIC de la Vetek Semiconductor oferă performanțe și fiabilitate excepționale în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Alegeți componentele noastre SIC pentru o calitate și o eficiență superioară.


View as  
 
Cap de duș cu carbură de siliciu

Cap de duș cu carbură de siliciu

Capul de duș cu carbură de siliciu are toleranță excelentă la temperatură ridicată, stabilitate chimică, conductivitate termică și performanțe bune de distribuție a gazelor, care pot obține o distribuție uniformă a gazelor și poate îmbunătăți calitatea filmului. Prin urmare, este de obicei utilizat în procese de temperatură ridicată, cum ar fi depunerea de vapori chimici (CVD) sau procesele de depunere de vapori fizici (PVD). Bine ați venit la consultarea dvs. suplimentară, Vetek Semiconductor.
Inel de etanșare din carbură de siliciu

Inel de etanșare din carbură de siliciu

Ca producător și fabrică profesională de produse de etanșare din carbură de siliciu și fabrică din China, inelul de etanșare a carburii de siliciu semiconductor Vetek este utilizat pe scară largă în echipamentele de procesare a semiconductorului datorită rezistenței sale excelente de căldură, rezistenței la coroziune, rezistenței mecanice și conductivității termice. Este potrivit în special pentru procesele care implică gaze de temperatură ridicată și reactivă, cum ar fi CVD, PVD și gravură cu plasmă și este o alegere cheie a materialului în procesul de fabricație a semiconductorilor. Întrebările dvs. suplimentare sunt binevenite.
CVD SIC Bloc pentru creșterea cristalului SIC

CVD SIC Bloc pentru creșterea cristalului SIC

CVD SIC Block pentru creșterea cristalului SIC, este o nouă materie primă de înaltă puritate dezvoltată de Vetek Semiconductor. Are un raport ridicat de intrare-ieșire și poate crește cristale unice de carbură de siliciu de dimensiuni mari, de mare calitate, care este un material de a doua generație pentru a înlocui pulberea folosită pe piață astăzi. Bine ați venit pentru a discuta probleme tehnice.
SiC Crystal Growth New Technology

SiC Crystal Growth New Technology

Carbura de siliciu de puritate ultra-înaltă a Vetek Semiconductor (SIC) formată din depunerea de vapori chimici (CVD) este recomandată pentru a fi utilizată ca material sursă pentru creșterea cristalelor de carbură de siliciu prin transportul fizic cu vapori (PVT). În noua tehnologie a creșterii cristalului SIC, materialul sursă este încărcat într -un creuzet și sublimat pe un cristal de semințe. Utilizați blocurile CVD-SIC de înaltă puritate pentru a fi ca sursă pentru creșterea cristalelor SIC. Bine ați venit pentru a stabili un parteneriat cu noi.
CVD SIC DUE Cap de duș

CVD SIC DUE Cap de duș

Vetek Semiconductor este un important producător de cap de duș CVD SIC și inovator în China. Suntem specializați în material SIC timp de mai mulți ani. Capul de duș SIC CVD este ales ca material inelar de focalizare datorită stabilității termochimice excelente, a rezistenței mecanice ridicate și a rezistenței la eroziunea plasmatică. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China.
Cap de duș sic

Cap de duș sic

Vetek Semiconductor este un principal producător și inovator de cap de duș SIC în China. Suntem specializați în material SIC de mai mulți ani. Capul de duș al SIC este ales ca material inelar de focalizare datorită stabilității termochimice excelente, a forței mecanice ridicate și a rezistenței la eroziunea plasmatică. Așteptăm cu nerăbdare să devii partenerul tău pe termen lung în China.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


În calitate de profesionist Carbură solidă de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Carbură solidă de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept