Componente ale reactorului planetar Aixtron G10 SiC solid

1. Caracteristici cheie și avantaje

• Structură de SiC solid complet densă, fără liant, pentru rezistență superioară la uzură și coroziune

• Conductivitate termică excelentă și rezistență la șoc termic la temperaturi peste 1500 °C

• Generare ultra-scăzută de particule și puritate ridicată, minimizând riscul de contaminare

• Inerție chimică remarcabilă față de gazele de proces utilizate în epitaxia SiC

• Durată lungă de viață sub cicluri repetate la temperaturi ridicate

• Prelucrare cu precizie până la toleranțe dimensionale strânse pentru o potrivire fiabilă și stabilitate a procesului

 2. Aplicații tipice

Aceste accesorii Solid SiC sunt utilizate în zonele funcționale cheie ale reactorului Aixtron G10, inclusiv:

• Plăci de acoperire și elemente de acoperire selectate

• Inele de protecție și componente cu uzură ridicată

• Ştifturi de precizie, şaibe şi piese structurale mici

• Alte inserții personalizate de înaltă puritate expuse unui flux intens de gaz sau sarcini termice

Aceștia sprijină distribuția stabilă a temperaturii, livrarea uniformă a gazului și densitatea scăzută a defectelor în timpul creșterii epitaxiale de SiC de mare volum pentru MOSFET-uri de putere, diode și dispozitive aferente cu bandgap largă.

3. De ce să alegeți VeTek Solid SiC pentru Aixtron G10?

În calitate de producător specializat de materiale semiconductoare, VeTek Semiconductor oferă:

• Componente SiC solid de înaltă puritate, adaptate pentru sistemele Aixtron G10, de exemplu: inel de acoperire, capace interioare/exterioare, placă de tragere/suport, disc satelit, susceptor

• Control strict al purității și prelucrare CNC de precizie

• Soluții complementare, inclusiv grafit acoperit cu CVD SiC și piese acoperite cu TaC pentru acoperirea completă a câmpului termic

• Proiecte personalizate potrivite condițiilor specifice de proces și configurațiilor reactoarelor

Accesoriile noastre Solid SiC ajută clienții să maximizeze avantajele de productivitate ale platformei Aixtron G10 - producție mare de plachete, grosimi excelente și uniformitate de dopare și costuri competitive de proprietate - în același timp extinzând durata de viață a componentelor și reducând pierderile de randament legate de particule.