Susținător EPI

Vetek Semiconductor este un lider profesionist China EPI întreprins, ALD Planetar Tugor și TAC Coated Graphite Producător. şi Sprijinul nostru EPI este o componentă importantă aCreștere epitaxialăÎn procesul de fabricație a semiconductorilor. Funcția sa principală este de a sprijini și încălzi placa, astfel încât un strat epitaxial de înaltă calitate să poată fi cultivat uniform pe suprafața plafonului.

Susceptorii EPI Vetek Semiconductors sunt de obicei din grafit de înaltă puritate și acoperite cu un strat de carbură de siliciu (SIC).Acest design are următoarele avantaje cheie:

● Stabilitate la temperatură ridicată: Susceptorul EPI poate rămâne stabil într -un mediu de temperatură ridicată, asigurând creșterea uniformă a stratului epitaxial.

● Rezistența la coroziune: Acoperirea SIC are o rezistență excelentă la coroziune și poate rezista eroziunii gazelor chimice, prelungind durata de viață a tavii.

● Conductivitate termică: Conductivitatea termică ridicată a materialului SIC asigură o distribuție uniformă a temperaturii a plafonului în timpul încălzirii, îmbunătățind astfel calitatea stratului epitaxial.

● Coeficientul de expansiune termică potrivire: Coeficientul de expansiune termică a SIC este similar cu cel al grafitului, evitând problema vărsării acoperirii din cauza expansiunii și contracției termice.

Proprietăți fizice de bază aleAcoperire CVD SIC:

Magazin de producție de acoperire CVD SIC:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipului semiconductor: