Inel de grafit acoperit cu carbură de tantal poroasă (TaC).

Caracteristicile produsului

• Echipament de bază:Destinat cuptoarelor de creștere cu un singur cristal SiC care funcționează cu tehnologie PVT.
• Aplicație principală:Potrivit pentru sistemele de câmp termic în creșterea cristalelor SiC semiconductoare de a treia generație.
• Stabilitate la temperaturi ridicate:Acoperirea TaC păstrează integritatea structurală la temperaturi ultra-înalte, susținând funcționarea prelungită în medii termice solicitante.
• Protecție la coroziune:Stratul dens CVD TaC protejează substratul de grafit de vaporii de siliciu, gazele purtătoare de carbon și alte specii corozive întâlnite în timpul creșterii SiC.
• Performanța câmpului termic:Baza poroasă de grafit ajută la distribuirea căldurii și la transportul vaporilor, ceea ce ajută la menținerea unor condiții stabile de creștere.
• Contaminare scăzută:Materialele inițiale de înaltă puritate și stratul dens limitează eliberarea de impurități și scurgerea particulelor, beneficiind de calitatea cristalului.
• Durată de viață extinsă:Stratul de TaC îmbunătățește rezistența la oxidare, duritatea suprafeței și durabilitatea generală la temperaturi ridicate.
• Aderența acoperirii:Procesul CVD produce o legătură puternică între filmul de TaC și substratul de grafit.
• Opțiuni personalizate:Dimensiunile, detaliile structurale și specificațiile de acoperire pot fi ajustate pentru a se potrivi diferitelor cerințe ale cuptorului de creștere SiC.

Specificatii tehnice

Aplicații

Inelul de grafit acoperit cu TaC poros VETEK este utilizat în principal în:

• Creșterea monocristalului de SiC prin PVT
• Producția de semiconductori de a treia generație
• Producția de substrat SiC
• Sisteme de câmp termic în cuptoare de creștere a cristalelor
• Prelucrare semiconductoare la temperatură înaltă
• Componente avansate din grafit pentru zone fierbinți

FAQ

1. Ce este un inel de grafit acoperit cu TaC poros?

Este o componentă a câmpului termic pentru cuptoarele de creștere a cristalelor de SiC. Combină o structură poroasă de grafit cu o acoperire CVD TaC pentru a oferi management termic și protecție împotriva coroziunii la temperaturi înalte.

2. De ce să folosiți acoperirea TaC pentru creșterea cristalelor de SiC?

TaC oferă stabilitate la temperaturi ridicate și rezistență chimică. Protejează grafitul de atacul vaporilor de siliciu și ajută la menținerea unui mediu de creștere curat și stabil.

3. Ce oferă structura poroasă din grafit?

Designul poros sprijină distribuția termică și transportul gazului în cuptor, ceea ce contribuie la condiții stabile de creștere a cristalelor de SiC.

4. VETEK poate produce inele de grafit acoperite cu TaC personalizate?

Da. VETEK oferă personalizare bazată pe desenele clienților, designul cuptorului și nevoile procesului, inclusiv dimensiunile, configurația substratului și parametrii de acoperire.