PZT Napolitane piezoelectrice (PZT pe Si/SOI)

1. Arhitectură tehnică

Napolitanele noastre au o structură sofisticată de stivă multistrat concepută pentru a asigura aderență, conductivitate și răspuns piezoelectric optim în timpul procesării MEMS complexe:

 ●Electrod superior (stratul cheie): Pt (Platină).

● Strat piezo (stratul central): PZT.

● Straturi intermediare: Include stratul tampon, electrodul inferior și stratul de aderență pentru a optimiza orientarea granulelor și stabilitatea structurală.

● Substratul: Compatibil cu napolitane Si sau SOI.

2. Asigurarea calității și analiza microstructurii

Asigurăm fiabilitate ridicată prin caracterizare tehnică riguroasă:

 ●Analiza SEM: Imaginile microscopiei electronice cu scanare (SEM) dezvăluie o morfologie densă a suprafeței, fără fisuri, cu distribuție uniformă a granulelor, ideală pentru aplicații MEMS de înaltă fiabilitate.

 ●Caracterizarea XRD: Modelele de difracție cu raze X (XRD) confirmă formarea fazei perovskite pure cu o orientare preferată puternică (100), asigurând coeficienți de performanță piezoelectrici maximi.

3. Specificații tehnice (Caracteristici)

4. Aplicații de bază

 ● Traductoare cu ultrasunete piezoelectrice micromașinate (pMUT): Rețele miniaturizate de înaltă frecvență pentru senzori de amprentă, recunoaștere a gesturilor și radar cu ultrasunete pentru automobile.

 ● Comunicare: Cheie pentru fabricarea filtrelor FBAR sau SAW în 5G/6G pentru a obține o lățime de bandă mai mare și pierderi de inserție mai mici.

 ● MEMS acustice: Oferă un răspuns tranzitoriu puternic pentru difuzoarele MEMS și îmbunătățește raportul semnal-zgomot (SNR) pentru microfoanele MEMS.

 ● Control de precizie a fluidelor: Vibrație de mare viteză prin modul d31 pentru un control precis la scară de nanolitri al volumului picăturilor din capetele de imprimare cu jet de cerneală.

 ● Medical și frumusețe (micropompare): Acționează nebulizatoare medicale sau pompe cosmetice cu ultrasunete cu fiabilitate ridicată și dimensiuni compacte.

5. Servicii de personalizare

Pe lângă depunerea standard pe napolitane de Si, oferim și servicii personalizate de depunere:

 ●Personalizare film și grosime: Depunerea unor tipuri de pelicule specifice și grosimi personalizate conform cerințelor de proiectare.

 ●Turnătorie OEM: Acceptarea napolitanelor furnizate de la clienți pentru creșterea stratului subțire piezoelectric de înaltă calitate.

 ●Suport de substrat SOI: Depunere specializată pe plachete SOI cu următoarele specificații: