Receptor SiC Coating Epi

Vetek Semiconductor este un producător profesionist din China pentru Receptor Epi de acoperire SiC.

Susceptorul Epi de acoperire SiC de la VeTek Semiconductor este realizat din grafit și carbură de siliciu. Acest produs de acoperire SiC folosește grafit importat, care are o performanță mai stabilă și o durată de viață lungă și este foarte apreciat de clienții noștri europeni și americani. În același timp, concentrația de susceptor Epi de acoperire SiC este sub 5 ppm, iar uniformitatea este foarte bună. După actualizări tehnologice continue, VeTek Semiconductor utilizează un nou proces pentru a forma o potrivire bună între coeficientul de dilatare termică al acoperirii SiC și materialele din grafit.

Sus -Susceptor EPI de acoperire este utilizat special în medii la temperaturi ridicate și corozive în echipamentele semiconductoare. SIC Acoring EPI Susceptor este utilizat în mod obișnuit în echipamente precum AIXTRON, în special în procesul de epitaxie ultravioletă profundă (Epitaxy DUV), jucând un rol cheie.

În procesul de epitaxie ultravioletă profundă (DUV Epitaxy), combinat cu rezistența excelentă la temperaturi ridicate și rezistența la coroziune a epitaxiei SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Epi Susceptor este de obicei instalat în jurul camerei de reacție în echipamentul AIXTRON ca purtător în timpul procesului de epitaxie de la deteriorarea sau contaminarea echipamentului.

Acest susceptor EPI de acoperire sic este conceput pentru epitaxie ultravioletă profundă. Controlăm strict stratul de carbură de siliciu, încorporăm tehnologia stratului tampon pentru a reduce problemele cauzate de diferențele de coeficienți de expansiune termică între acoperirile cu carbură de grafit și siliciu, extinzând astfel durata de viață a produsului. În prezent, produsul nostru a primit numeroase premii și este recunoscut ca unul dintre cei mai buni de pe piața internă.

În calitate de lider al industriei în produsele de acoperire SIC, Vetek Semiconductor acceptă servicii de personalizare a produselor și prețuri satisfăcătoare ale produselor și așteaptă cu nerăbdare consultarea dvs. ulterioară.

DATE SEM ALE FILMULUI CVD SIC:

Magazine de produse VeTek Semiconductor SiC Coating Skirt:

Prezentare generală a lanțului industrial al epitaxiei Chip Epitaxy: