Produse
Inel de focalizare cu carbură de siliciu
  • Inel de focalizare cu carbură de siliciuInel de focalizare cu carbură de siliciu

Inel de focalizare cu carbură de siliciu

Inelul de focalizare Veteksemicon este proiectat special pentru echipamente solicitante de gravare a semiconductoarelor, în special aplicații de gravare SiC. Montat în jurul mandrinei electrostatice (ESC), în imediata apropiere a plachetei, funcția sa principală este de a optimiza distribuția câmpului electromagnetic în camera de reacție, asigurând o acțiune uniformă și concentrată a plasmei pe întreaga suprafață a plachetei. Un inel de focalizare de înaltă performanță îmbunătățește semnificativ uniformitatea ratei de gravare și reduce efectele marginilor, sporind direct randamentul produsului și eficiența producției.

Informații generale despre produs

Locul de origine:
China
Nume de marcă:
Rivalul meu
Număr de model:
Inel de focalizare SiC-01
Certificare:
ISO9001


Condiții comerciale ale produsului

Cantitatea minima de comanda:
Supus negocierii
Preţ:
Contact pentru o ofertă personalizată
Detalii de ambalare:
Pachet standard de export
Timpul de livrare:
Timp de livrare: 30-45 de zile de la confirmarea comenzii
Condiții de plată:
T/T
Capacitate de aprovizionare:
500 unitati/luna


Aplicație: În procesele de gravare uscată cu semiconductor, inelul de focalizare este o componentă cheie care asigură uniformitatea procesului. Acesta înconjoară strâns placa și, controlând cu precizie distribuția plasmei la marginile plachetei, determină în mod direct uniformitatea și consistența procesului de gravare, făcându-l o parte indispensabilă a garantării randamentului cipului.


Servicii care pot fi furnizate: analiza scenariilor de aplicare a clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice.


Profilul companiei: Veteksemicon are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.


Parametrii tehnici

proiect
parametru
Materiale principale
SiC sinterizat de înaltă puritate
Materiale optionale
SiC acoperit poate fi personalizat în funcție de cerințele clientului
Procese aplicabile
Gravura SiC, Si gravura profundă, gravarea altor semiconductori compusi
Dispozitive aplicabile
Aplicabil platformelor de echipamente de gravare uscată principale (modele specifice pot fi personalizate)
Dimensiuni cheie
Personalizat în funcție de modelul de echipament al clientului și cerințele de desen
Rugozitatea suprafeței
Ra ≤ 0,2 μm (poate fi ajustat în funcție de cerințele procesului)
Caracteristici cheie
Rezistență ridicată la coroziune, puritate ridicată, duritate ridicată, stabilitate termică excelentă și formare scăzută de particule


Avantajele principale ale inelului de focalizare Rivalul meu


1. Știința materialelor de excepție, născută pentru medii dure


Materialul nostru selectat de carbură de siliciu de înaltă puritate și densitate mare poate rezista cu ușurință bombardamentelor intense cu plasmă și coroziunii gazelor chimice care conțin fluor în timpul procesului de gravare SiC. Rezistența sa excelentă la coroziune se traduce direct într-o durată de viață mai lungă și o frecvență mai mică de înlocuire a componentelor, nu doar reducând timpul de nefuncționare a echipamentului, ci și reducând semnificativ riscul de contaminare cu particule cauzat de uzura componentelor, oferindu-vă o eficiență a costurilor cuprinzătoare și stabilă pe termen lung.


2. Designul ingineresc precis asigură un proces consistent


Fiecare inel de focalizare Veteksemicon este supus unei prelucrari CNC de ultra-precizie pentru a se asigura că dimensiunile cheie, cum ar fi planeitatea, diametrul interior și înălțimea treptei, ating o precizie la nivel de microni, asigurând potrivirea perfectă cu producătorul de echipamente originale (OEM). Echipa noastră de ingineri optimizează în continuare profilul utilizând simularea cu plasmă. Acest design ghidează eficient câmpul electric, reducând gravarea anormală la marginile plachetei și controlând astfel uniformitatea de gravare a întregii plachete la un nivel extrem.


3. Performanța de încredere îmbunătățește eficiența producției


În medii solicitante de producție în masă, se realizează întreaga valoare a produselor noastre. Asigurând o distribuție concentrată și stabilă a plasmei, inelul de focalizare Veteksemicon contribuie în mod direct la o uniformitate îmbunătățită a ratei de gravare și la repetabilitate optimizată a procesului de la lot la lot. Acest lucru înseamnă că linia dvs. de producție poate livra în mod constant produse cu randament ridicat, beneficiind în același timp de cicluri de întreținere mai lungi, reducând efectiv costurile consumabilelor per plachetă și oferindu-vă un avantaj competitiv semnificativ.


4. Aviz de verificare a lanțului ecologic


Verificarea lanțului ecologic Veteksemicon focus ring acoperă materiile prime până la producție, a trecut certificarea standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a-și asigura fiabilitatea și sustenabilitatea în domeniul semiconductorilor și al energiei noi.


Pentru specificații tehnice detaliate, documente albe sau modele de aranjamente de testare, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Veteksemicon vă poate îmbunătăți eficiența procesului.


Domenii principale de aplicare

Direcția de aplicare
Scenariul tipic
Fabricarea dispozitivelor de putere SiC
Gravarea porții și mesa a MOSFET, SBD, IGBT și a altor dispozitive.
Dispozitive RF GaN-on-SiC
Proces de gravare pentru dispozitive de radiofrecvență de înaltă frecvență și putere mare.
Gravare profundă a dispozitivului MEMS
Prelucrare de sistem micro-electromecanic care are cerințe extrem de ridicate privind morfologia și uniformitatea gravării.


Magazin de produse Rivalul meu

Veteksemicon products shop


Hot Tags: Inel de focalizare cu carbură de siliciu
Trimite o anchetă
Informatii de contact
Pentru întrebări despre acoperirea cu carbură de siliciu, acoperirea cu carbură de tantal, grafit special sau lista de prețuri, vă rugăm să ne lăsați e-mailul și vă vom contacta în termen de 24 de ore.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept