Inel de focalizare solid SiC

6. Domenii principale de aplicare

7. Avantajele de bază ale inelului de focalizare Veteksemi solid SiC

Rezistență excelentă la coroziune cu plasmă

În cazul expunerii prelungite la plasme foarte corozive, de înaltă densitate, cum ar fi CF4, O2 și Cl2, materialele convenționale sunt susceptibile la uzură rapidă și contaminare cu particule. Inelul nostru de focalizare solid SiC prezintă o rezistență excelentă la coroziune, cu o rată de coroziune mult mai mică decât cea a materialelor precum cuarțul sau alumina. Aceasta înseamnă că menține o suprafață netedă în timp, reducând semnificativ riscul de defecte ale plachetelor cauzate de uzura componentelor, asigurând o producție de masă continuă și stabilă.

Stabilitate excelentă la temperaturi ridicate și performanță de management termic

Procesul de gravare a semiconductorilor generează căldură semnificativă, determinând componentele camerei să experimenteze fluctuații dramatice de temperatură. Inelele noastre de focalizare au un coeficient de dilatare termică extrem de scăzut, capabil să reziste la temperaturi tranzitorii de până la 1600°C fără crăpare sau deformare. În plus, conductivitatea lor termică ridicată inerentă ajută la dispersarea uniformă și rapidă a căldurii, îmbunătățind eficient distribuția temperaturii la marginea plachetei, îmbunătățind astfeluniformitatea gravării și consistența dimensiunilor critice pe întreaga placă.

Puritate extraordinară a materialului și densitate structurală

Controlăm cu strictețe puritatea materiilor prime din carbură de siliciu (≥99,999%) și eliminăm contaminarea cu metal în timpul procesului de sinterizare pentru a îndeplini cerințele stricte ale proceselor avansate de fabricație pentru controlul urmelor de impurități. Structura densă formată prin sinterizarea la temperatură ridicată are o porozitate extrem de scăzută, blocând aproape complet pătrunderea gazelor de proces și a produselor secundare. Acest lucru previne degradarea performanței și creșterea particulelor cauzate de degradarea materialului intern, asigurând un mediu pur în cameră de proces.

Durată de viață mecanică de lungă durată și eficiență completă a costurilor

În comparație cu consumabilele convenționale care necesită înlocuire frecventă, inelele de focalizare din SiC solid Veteksemi oferă o durabilitate excepțională. Ele mențin performanța stabilă pe toată durata de viață, extinzând ciclurile de înlocuire de mai multe ori. Acest lucru nu numai că reduce în mod direct costurile de achiziție a pieselor de schimb, ci și îmbunătățește semnificativ utilizarea mașinii prin reducerea timpului de nefuncționare a echipamentului pentru întreținere, rezultând avantaje semnificative ale costurilor generale pentru clienți.

Control precis al dimensiunii și servicii flexibile de personalizare

Înțelegem cerințele precise ale diferitelor mașini și procese pentru consumabile. Fiecare inel de focalizare este supus unei prelucrari de precizie si a unor teste riguroase pentru a asigura tolerante dimensionale critice de ±0,05 mm. Oferim, de asemenea, servicii personalizate, inclusiv dimensiuni personalizate, finisaje ale suprafețelor (lustruire la Ra ≤ 0,2μm) și ajustări de conductivitate pentru a se potrivi perfect cerințelor dumneavoastră specifice procesului și scenariilor de aplicare.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente albe sau aranjamente de testare, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Veteksemi vă poate îmbunătăți eficiența procesului.