Inel cu trei petale acoperit cu TaC

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist din China TAC, cu trei petale, acoperite cu trei petale. Inelul cu trei petale acoperite cu TAC este utilizat în sistemul de depozitare AIXTRON G10 pentru Epitaxy cu un randament ridicat G10-Gan, 150/200 mm pentru Gan Power & RF-RF Aplicații.

Acoperirea TAC cu semiconductor Vetek este o nouă generație de material rezistent la temperatură ridicată, cu o stabilitate mai bună la temperatură ridicată decât SIC, ca acoperire rezistentă la coroziune, acoperire rezistentă la oxidare, acoperire rezistentă la uzură, poate fi utilizată în mediul peste 2000 ℃, utilizat pe scară largă în Piese de capăt cald la temperatură ultra-înaltă a temperaturii, a treia generație de creștere unică a cristalului semiconductor și alte câmpuri.

Caracteristicile produsului:

1.. Puritate ridicată, conținut de impuritate <5ppm

2. Rezistență la temperatură ridicată, rezistență la coroziune, densitate ridicată, densitate ridicată

3. Este inert chimic pentru amoniac, hidrogen, silan și siliciu la temperaturi ridicate și are o stabilitate termică bună.

4. Rezistența la șoc termic, poate accelera ciclul de funcționare

5. Aderența puternică a grafitului asigură o durată lungă de viață și nicio delaminare a acoperirii.

6. Toleranțe dimensionale stricte.

Aplicatii principale:

1. Creștere epitaxială

2. Creșterea unui singur cristal

3. Deviere de coroziune la temperaturi ridicate

4. duză rezistentă la temperatură ridicată și oxidare

5. Palete turbinei cu gaz

Parametrul produs al inelului cu trei petale acoperit cu TAC

Magazin de producție VeTek Semiconductor: