Placă de rotație a acoperirii TAC

Placa de rotație TAC de la Vetek Semiconductor are o compoziție de înaltă puritate, un conținut de impuritate mai puțin de 5 ppm și o structură densă și uniformă, care este utilizată pe scară largă în sistemele LPE EPI, sistemele Aixtron, sistemele Nuflare, sistemele Tel CVD, sistemele VEECO, sistemele TSI.

● Proprietăți mecanice excelente:

Duritate de acoperire până la 2300HV, cu o rezistență excelentă la uzură.

Adeziunea dintre acoperire și substrat este puternică și nu este ușor să cadă sau să se coajeze.

Acoperirea poate menține în continuare o stabilitate structurală bună la temperaturi ridicate.

●  Rezistență excelentă la coroziune:

Materialul TAC în sine are o stabilitate chimică excelentă și o rezistență la coroziune.

Acoperirile Vetek Semiconductor funcționează bine într -o varietate de medii de gaz agresive.

Poate proteja eficient componentele interne ale echipamentului de deteriorarea coroziunii.

● Finisaj de suprafață ridicat:

Vetek Semiconductor folosește un proces precis de acoperire pentru a produce finisajul dorit.

Rugozitatea scăzută a suprafeței ajută la reducerea acumulării și depunerii de particule.

● Coerența acoperirii este bună:

Vetek Semiconductor are un sistem de control al calității sunetului pentru a asigura o performanță constantă între loturi.

Grosimea acoperirii este distribuită uniform și nu există defecte locale evidente.

● Performanță practică excelentă a aplicației:

Acoperirea TAC a Vetek Semiconductor este utilizată pe scară largă în mulți cunoscuți producători de echipamente epitaxiale la domiciliu și în străinătate.

Parametrul fizic al produsului plăcii de rotație acoperite cu TAC:

Acoperire cu carbură tantalică pe o secțiune transversală microscopică