Cuptor vertical inel acoperit cu SiC

În cuptoarele verticale, utilizarea inelelor acoperite cu SiC este o soluție comună, utilizată în principal în procesele de tratare termică la temperatură înaltă deplatouri cu semiconductor. Inelele acoperite cu cuptor vertical sunt componente de înaltă performanță, rezistente la temperatură ridicată, utilizate pentru a sprijini sau proteja napolitarii pentru a asigura stabilitatea și fiabilitatea procesului.

Funcțiile inelului acoperit cu cuptor vertical

● Funcții

Rol de sprijin. Folosit pentru a susține napolitanele pentru a le asigura stabilitatea și poziția precisă în cuptoarele cu temperatură înaltă.

●  Protecție împotriva coroziunii

Preveniți corodarea materialului de bază a gazelor sau substanțelor chimice corozive.

●  Reduce poluarea

Acoperirea cu SiC de înaltă puritate poate preveni eficient eliminarea particulelor și contaminarea cu impurități pentru a asigura curățenia procesului.

●  Rezistență la temperatură ridicată

Menține proprietățile mecanice excelente și stabilitatea dimensională în medii cu temperaturi ridicate (de obicei peste 1000°C).

Caracteristicile inelului acoperit cu SiC pentru cuptorul vertical

●  Duritate și rezistență ridicate

Materialele SiC au o rezistență mecanică excelentă și pot rezista la stresul la temperaturi ridicate în cuptor.

●  Stabilitate termică bună

Conductivitatea termică ridicată a SiC și coeficientul scăzut de dilatare termică ajută la reducerea stresului termic.

●  Stabilitate chimică puternică

Acoperirile SiC pot rezista la coroziune în medii oxidante, acide sau alcaline.

●  Contaminare scăzută a particulelor

Suprafața netedă reduce posibilitatea generarii de particule, care este deosebit de potrivită pentru mediul ultra-curat al fabricării semiconductorilor.

Folosit pentru difuzie, oxidare, recoacere și alte procese în cuptoarele verticale pentru a sprijini napolitane de siliciu și pentru a preveni contaminarea particulelor în timpul tratamentului termic.

Materiale și procese de fabricație

● Substrat: Fabricat din grafit SGL de înaltă calitate, calitatea este garantată.

● Acoperire: acoperirea cu carbură de siliciu este aplicată pe suprafața grafitului prin depunerea de vapori chimici (CVD).

●  Grosimea acoperirii este de obicei între 50~500μm, care este ajustată în funcție de cerințele de utilizare.

●  Acoperirea SiC cu depunere chimică de vapori are o puritate și densitate mai ridicate și o durabilitate mai bună.

Selectați cel potrivitAcoperire sicinel în funcție de diametrul plachetei de siliciu din cuptor și de specificațiile suportului. Îl putem personaliza pentru tine. Învelișul dens și de înaltă puritate este mai durabil și mai puțin poluant. Înlocuiți în mod regulat în funcție de frecvența de utilizare și de cerințele procesului pentru a evita contaminarea sau eșecul suportului din cauza îmbătrânirii acoperirii.

În calitate de furnizor și producător de ineluri acoperite cu cuptor profesionist în China, Vetek Semiconductor s -a angajat de mult timp să ofere tehnologie de cuptor vertical avansat și soluții de produse pentru industria semiconductorilor. Așteptăm sincer să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China.

CVD SIC Structura de cristal de film

Proprietăți fizice de bază ale acoperirii CVD SIC

SemiconductorCuptor vertical acoperit cu SiC Magazine cu inele: