Mandrină electrostatică ceramică cu nitrură de aluminiu (AlN).

1.Avantaje

• Ceramica AlN de înaltă puritate cu conductivitate termică de până la ~180 W/m·K pentru transfer eficient de căldură și uniformitate a temperaturii

• Izolație electrică puternică și rezistivitate de volum mare care susțin prinderea stabilă la 1–3 kV (tensiuni mai mari disponibile)

• Materiale personalizate ale stratului dielectric și dispoziții ale electrozilor: Coulomb sau Johnsen–Rahbek (JR); unică sau multi-zonă

• Performanță rapidă de prindere și deblocare, de obicei sub 0,1 secunde

• Microstructuri cu gropițe de suprafață până la ~300 μm diametru, reducând aria de contact până la ~1%

• Capacitate mare de planeitate; planeitate globală tipică de ordinul a 0,5–3 μm PV pentru platforme de clasă de 300 mm

• Microstructură densă cu absorbție de apă aproape de zero și rezistență chimică bună pentru mediile de proces

2.Aplicații tipice

Mandrinele electrostatice ceramice cu nitrură de aluminiu sunt utilizate în etapele procesului care necesită atât menținerea în siguranță a plachetei, cât și comportamentul termic controlat:

• Gravurarea cu plasmă uscată (ICP / RIE) și procesele de cameră aferente

• CVD, PEALD, ALD termic și alte etape de depunere a filmului subțire

• Module de recoacere și proces termic care necesită o temperatură uniformă a plachetei

• Etape de inspecție, metrologie și precizie în care particulele reduse și strângerea stabilă sunt critice

3.Grade materiale AlN – Proprietăți tipice

VeTek oferă mai multe grade de nitrură de aluminiu pentru a echilibra conductivitatea termică, rezistența mecanică și costul pentru modelele ESC:

Unitati: Conductivitate termica in W/(m·K); rigiditate dielectrică în kV/mm; rezistivitate de volum în Ω·cm (25 °C); constantă dielectrică la 1 MHz. Valorile sunt tipice și pot varia în funcție de geometria procesului și a piesei.

4.Parametri tipici de proiectare ESC

5.De ce Choosunt mandrine electrostatice VeTek AlN?

VeTek Semiconductor integrează ceramica AlN avansată cu producție ESC de precizie pentru clienții de semiconductori care au nevoie atât de performanță termică, cât și de prindere fiabilă:

• Mai multe grade de AlN cu conductivitate termică de la ~90 la ~180 W/m·K pentru a se potrivi bugetelor termice ale procesului

• Electrod flexibil și design dielectric pentru comportamentul de prindere Coulomb sau JR

• Control strict al planeității, microstructurii suprafeței și performanței izolației electrice

• Suport complet pentru ciclul de viață: proiectare, construcție nouă și renovare pe mai multe niveluri

Pentru unelte de gravare, depunere și termice care depind de temperatura uniformă a plachetei și de prindere curată și repetabilă, mandrinele electrostatice ceramice cu nitrură de aluminiu VeTek oferă o platformă ceramică de înaltă performanță susținută de suport ingineresc axat pe aplicație.