Cap de duș cu grafit acoperit cu carbură de siliciu CVD (SiC).

Caracteristici cheie

• Puritate ultra-înaltă – Acoperirea cu SiC etanșează complet grafitul, astfel încât să nu fie degajate sau contaminate cu metal.

• Distribuție excelentă a gazului – Fiecare cap de duș este prelucrat pentru a furniza o viteză constantă a gazului pe întreaga placă.

• Rezistență superioară la coroziune – CVD SiC nu reacționează cu halogenii sau reziduurile de proces. Durează mult mai mult decât grafitul gol sau cuarțul.

• Performanță termică remarcabilă – Acoperirea se potrivește îndeaproape cu dilatarea termică a grafitului, astfel încât să nu se spargă în timpul rampelor rapide de temperatură.

• Fabricare de precizie – Utilizăm prelucrare CNC și acoperire CVD internă. Diametrele și modelele găurilor sunt menținute la toleranțe strânse.

Specificatii tehnice

Aplicații

Aceste capete de duș sunt utilizate în:

• Sisteme CVD cu semiconductori (atât producție, cât și cercetare și dezvoltare)

• Echipament PECVD – dielectrici de joasă temperatură

• Reactoare MOCVD – compuși III‑V precum GaN, InP

• Epitaxie de siliciu (Si Epi) – pentru dispozitive de alimentare și CMOS

• Epitaxie SiC – electronică de putere de înaltă tensiune

• Fabrici de semiconductori compusi

• Ambalare avansată (de exemplu, depunere de căptușeală TSV)

• Orice instrument cu peliculă subțire care are nevoie de un distribuitor de gaz rezistent la coroziune, de înaltă puritate

De ce să alegeți VETEK?

• Nu suntem o companie comercială. Totul – de la prelucrarea cu grafit până la acoperirea finală CVD SiC – este realizat intern. Asta înseamnă că controlăm calitatea, timpul de livrare și costul.

• Fabricare internă completă – fără surprize de externalizare

• Tehnologie avansată de acoperire – CVD SiC dens, fără orificii

• Suport de inginerie personalizat – trimiteți-ne desenul capului de duș sau doar modelul reactorului

• Lanț de aprovizionare de încredere cu semiconductori – furnizăm fabrici și OEM de ani de zile

• Nu trebuie să recalificați un design nou de fiecare dată. Am acoperit deja capete de duș pentru multe platforme comune (AMAT, TEL, LAM, ASM etc.).