Receptor cu disc grafit

Susceptorul de discuri de grafit Vetek Semiconductor, un produs de înaltă performanță pentru procesele avansate de fabricație a semiconductorilor. Susceptorul nostru de discuri de grafit este conceput pentru a îndeplini cerințele solicitante ale industriei și pentru a oferi performanțe și fiabilitate excepționale. Acest susceptor de discuri de grafit este OEM pentru platforma de reactor planetar AIX G5.

GaN-on-Si MOCVD este utilizat pentru producția de LED-uri epitaxiale, iar reactorul Aixtron G5 îmbunătățește randamentul și uniformitatea platformei MOCVD. Un model uniform simetric rotit complet pe cinci plachete de 200 mm, folosind un substrat de siliciu de grosime standard și controlând comportamentul de îndoire a plachetelor, a oficializat ceea ce aveau nevoie pentru fabricarea siliciului.

Susceptor de disc de grafit de înaltă puritate de la Vetek Semiconductor pentru GaN-on-Si MOCVD, o soluție fiabilă și rentabilă pentru procesele avansate de fabricare a semiconductorilor.

Suceptorul nostru de disc de grafit de înaltă puritate este proiectat special pentru a îndeplini cerințele proceselor MOCVD GaN-on-Si. Cu stabilitatea sa termică excepțională și rezistența la căldură, poate rezista la condițiile de temperatură solicitante, de obicei cuprinse între 800°C și 1100°C, asigurând performanțe optime în timpul procesului de depunere.

Materialul de grafit de înaltă puritate utilizat în susceptorul nostru de discuri oferă o rezistență chimică excelentă, ceea ce îl face compatibil cu amoniacul (NH3) și precursorii metalului organic utilizați frecvent în Gan-on-Si MOCVD. Acest lucru elimină nevoia de suplimentareAcoperiri SiC, reducând costurile de producție fără a compromite performanța.

Susceptorul de discuri de înaltă puritate de înaltă puritate Vetek Semiconductor oferă o soluție rentabilă, fără a face compromisuri asupra calității. Fiabilitatea, durabilitatea și compatibilitatea sa cu procesele MOCVD GAN-on-Si îl fac alegerea preferată pentru producătorii de semiconductori. Creșteți-l pe Vetek Semiconductor pentru a oferi susceptitori de discuri de înaltă performanță pentru nevoile dvs. de fabricație Gan-on-Si MOCVD.