Barcă din grafit pentru PECVD

Aplicație: Barca din grafit Veteksemicon pentru PECVD este o componentă de bază în procesul de depunere chimică în vapori îmbunătățită cu plasmă. Este conceput special pentru depunerea de nitrură de siliciu de înaltă calitate, oxid de siliciu și alte pelicule subțiri pe plăci de siliciu, semiconductori compuși și substraturi de panouri de afișare. Performanța sa determină în mod direct uniformitatea filmului, stabilitatea procesului și costul de producție.

Servicii care pot fi furnizate: analiza scenariilor de aplicare a clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice.

Profilul Companiei：Veteksemicon are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.

Informații generale despre produs

Condiții comerciale ale produsului

Domenii principale de aplicare

Rivalul meu Barcă din grafit pentru avantajele de bază PECVD

1. Substraturi de înaltă puritate, controlând poluarea de la sursă

Insistăm să folosim grafit de înaltă puritate presat izostatic, cu o puritate stabilă de peste 99,995% ca material de bază, pentru a ne asigura că nu va precipita impuritățile metalice chiar și într-un mediu de funcționare continuă de 1600°C. Această cerință strictă de material poate evita în mod direct degradarea performanței plachetelor cauzată de contaminarea purtătorului, oferind cea mai fundamentală garanție pentru depunerea filmelor de nitrură de siliciu sau oxid de siliciu de înaltă calitate.

2. Câmp termic precis și design structural pentru a asigura uniformitatea procesului

Prin simularea extinsă a fluidelor și datele de măsurare a procesului, am optimizat unghiul fantei ambarcațiunii, adâncimea canalului de ghidare și calea fluxului de gaz. Această considerație structurală meticuloasă permite distribuția uniformă a gazelor reactive între plachete. Măsurătorile reale arată că, la sarcină maximă, abaterea uniformității grosimii filmului între plachetele din același lot poate fi controlată stabil în ±1,5%, îmbunătățind semnificativ randamentul produsului.

3. Soluții de acoperire personalizate pentru a aborda coroziunea procesului specific

Pentru a satisface diferitele medii de gaz de proces ale diferiților clienți, oferim două opțiuni de acoperire mature: carbon pirolitic și carbură de siliciu. Dacă depozitați în principal nitrură de siliciu și utilizați curățarea cu hidrogen, stratul dens de carbon pirolitic poate oferi o rezistență excelentă la eroziunea cu plasmă de hidrogen. Dacă procesul dumneavoastră implică gaze de curățare care conțin fluor, atunci stratul de carbură de siliciu de duritate mare este o alegere mai bună. Poate prelungi durata de viață a bărcii din grafit în medii foarte corozive de peste trei ori mai mult decât a produselor obișnuite neacoperite.

4. Stabilitate excelentă la șoc termic, adaptabilă la ciclurile frecvente de temperatură

Datorită formulei noastre unice de grafit și designului nervurilor de întărire internă, bărcile noastre din grafit pot rezista șocurilor repetate de răcire și încălzire rapidă ale procesului PECVD. În teste riguroase de laborator, după 500 de cicluri termice rapide de la temperatura camerei la 800°C, rata de reținere a rezistenței la încovoiere a bărcii a depășit totuși 90%, evitând efectiv fisurarea cauzată de stresul termic și asigurând continuitatea și siguranța producției.

5. Aviz de verificare a lanțului ecologic

Barca din grafit Veteksemicon pentru verificarea lanțului ecologic PECVD acoperă materiile prime până la producție, a trecut certificarea standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a-și asigura fiabilitatea și sustenabilitatea în domeniul semiconductorilor și al energiei noi.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente albe sau modele de aranjamente de testare, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Veteksemicon vă poate îmbunătăți eficiența procesului.