Suport rotativ de grafit

Susceptorul de wafer este o necesitate pentru procesul de creștere epitaxială. În timpul creșterii epitaxiale, substratul wafer este plasat în susceptitor. Susceptitorii rotativi de înaltă puritate a semiconductorului sunt utilizate în echipamentele de procesare a materialelor sub temperaturi ridicate și medii cu vid ridicat. În creșterea epitaxială a nitridei de galiu (procesul MOCVD), acestea joacă un rol de susținere în rotația substratului. Susceptorul rotativ de grafit al Vetek Semiconductor are următoarele avantaje:

● Puritate ridicată: Conținutul de impuritate în susceptitorii rotativi cu grafit de înaltă puritate este sub 5 ppm. Acest nivel de grafit de puritate poate evita eliberarea de impurități la temperaturi ridicate pentru a asigura curățenia procesului de depunere. Prin urmare, nu este necesară nicio acoperire pentru a îndeplini cerințele de lucru.

Grafit de înaltă puritate

● Proprietăți termice excelente: Grafitul de înaltă puritate are o conductivitate termică excelentă, iar conductivitatea termică este mult mai mare decât alte materiale. Coeficientul de expansiune termică este mic și poate menține performanțe stabile atunci când se confruntă cu schimbări de temperatură.

● Proprietăți mecanice bune: Grafitul de înaltă puritate are o rezistență bună la uzură și o duritate, ceea ce poate satisface cerințele complexe ale procesului CVD.

● Conductivitate excelentă: Conductivitatea este de o sută de ori mai mare decât cea a mineralelor generale nemetalice.

● Stabilitatea chimică: Poate rezista coroziunii de la acizi, alcali și solvenți organici

Mai mult, în calitate de producător de frunte și furnizor de susceptitori rotativi de grafit de înaltă puritate în China, Vetek Semiconductor furnizează, de asemenea, de înaltă calitateSusceptor de grafit acoperit SIC pentru MOCVD, Susceptor de butoi acoperit cu sic, Suport de grafit acoperit cu TACşiSusceptor de acoperire MOCVD SIC.Vetek Semiconductor se angajează să ofere soluții avansate de tehnologie și produse pentru industria semiconductorilor și sprijină, de asemenea, servicii personalizate. Așteptăm sincer să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China.

SemiconductorMagazine de produse susceptitoare de grafit rotativ: