Barcă de napolitană acoperită cu CVD SiC de înaltă puritate

1. Factori de performanță de bază?

• Puritate la nivelul 7N:Menținem un standard de puritate de 99,99999% (7N). Acest lucru nu este negociabil pentru a preveni migrarea contaminanților metalici în plachetă în timpul etapelor lungi de introducere sau oxidare.
• Sigiliul CVD (50–300μm):Nu doar „vopsem” suprafața. Stratul nostru CVD SiC de 50–300 μm creează o etanșare totală peste substrat. Acest lucru elimină porozitatea, ceea ce înseamnă că barca nu va prinde substanțe chimice sau nu va elimina particule chiar și după expunerea repetată la gaze reactive sau curățarea agresivă SPM/DHF.
• Rigiditate termica:Expansiunea termică scăzută naturală a carburei de siliciu menține aceste bărci drepte. Nu se vor afunda sau răsuci în timpul recoacerii termice rapide (RTA), asigurându-se că brațul robotului lovește întotdeauna fanta potrivită fără a se bloca.
• Randamente susținute:Suprafața este proiectată pentru o aderență scăzută a produselor secundare. Mai puțină acumulare înseamnă mai puține particule care vă lovesc napolitanele și mai multe curse între ciclurile de curățare pe bancul umed.
• Geometrie personalizată:Fiecare fab are propria sa configurație. Prelucrăm acestea după desenele dvs. specifice de pas și slot, indiferent dacă utilizați un cuptor orizontal sau o linie automată verticală de 300 mm.

2. Compatibilitatea proceselor

• Atmosferă:Rezistent la TMGa, AsH₃ și medii cu concentrație mare de O₂.
• Interval termic:Funcționare stabilă pe termen lung până la 1400°C.
• Materiale:Proiectat special pentru procesele de oxidare și difuzie ale plachetelor logice, de putere și analogice.