Scut și obturator de cuarț opac de înaltă puritate pentru MOCVD

1. Specificații tehnice

Oferim prelucrare de înaltă precizie pe baza desenelor dumneavoastră tehnice pentru a asigura o potrivire perfectă cu modelele dumneavoastră de echipamente specifice.

2. Câmpurile de bază ale aplicației

● Protecția procesului MOCVD: Servește ca scuturi/captușeli interne esențiale pentru a proteja mediul de reacție.

● Epitaxie semiconductoare: Folosit ca obloane de înaltă precizie pentru stabilizarea debitului și a temperaturii în timpul creșterii stratului subțire.

● Fabricare de semiconductori cu bandă interzisă largă: Compatibil cu medii cu cerere mare pentru GaN și alte materiale avansate.

3. De ce să alegeți VETEK Quartz Solutions?

● Managementul superior al radiațiilor termice: Cuarțul nostru alb lăptos conține o densitate mare de micro-bule care împrăștie și blochează eficient radiația termică la temperatură înaltă (>1000°C). Absoarbe lumina vizibilă și în infraroșu apropiat de la elementele de încălzire și o transformă în radiație în infraroșu îndepărtat, asigurând o încălzire extrem de uniformă.
● Controlul contaminării și întreținere ușoară: Ca o căptușeală interioară sacrificială sau înlocuibilă, Scutul de cuarț menține camera de reacție curată, prevenind depunerea produselor secundare pe pereții și încălzitoarele costisitoare ale camerei. Aceste piese pot fi regenerate prin curățare umedă (cum ar fi soluțiile SPM+DHF) sau înlocuite cu ușurință pentru a asigura randamente mari de napolitane.
● Rezistență chimică extremă: Cuarțul VETEK este conceput pentru a rezista la cicluri termice frecvente și pentru a rezista la coroziune de la substanțele organice metalice (cum ar fi TMGa) și hidruri (cum ar fi AsH₃).
● Controlul de precizie al procesului: Jaluzele noastre de cuarț mențin o stabilitate dimensională ridicată la încălzirea cu infraroșu sau cu filament. Inerția lor termică scăzută permite un răspuns mecanic rapid, permițând un control precis al creșterii „la nivel atomic” și prevenind contaminarea încrucișată în timpul comutării multi-plachete sau multi-proces.
● Alternativă rentabilă: Pentru proiectele cu cerințe bugetare stricte, produsele noastre de cuarț oferă un punct de intrare fiabil în comparație cu grafitul acoperit, oferind protecție și funcționalitate esențială pentru sistemele MOCVD.