Barcă cu napolitană de cuarț de înaltă puritate

Barca cu cuarț de înaltă puritate a Vetek Semiconductor este realizată din cuarț de puritate ultra-înaltă, care are caracteristicile conținutului scăzut de hidroxil, puritate ridicată și rezistență puternică la temperatură ridicată. Acest material este, de asemenea, utilizat pe scară largă în industria semiconductorilor ca material pentru cuptoarele de difuzie și componentele cuptorului CVD. Ca un recipient pentru transportul de napolitane de siliciu, a fost utilizată o placă cu barca de cuarț de înaltă puritate în semiconductor, fotovoltaic, chimic și alte câmpuri.

Scenarii de aplicare

În primul rând este domeniul semiconductorilor. Procesul de tratare termică a plachetelor este foarte important, inclusiv oxidarea termică, difuzia, recoacere etc. Prin procesul de tratare termică, dăm napolitanelor noi caracteristici.

Tuburile de miez cuptor de lot sunt utilizate pentru procesele de prelucrare a plafonului cu semiconductor, cum ar fi oxidarea termică, difuzarea la temperaturi ridicate, recoacerea și depunerea de peliculă subțire. Cuptorul de încălzire a lotului este utilizat în principal pentru încălzirea corpului cuptorului de către bobine pentru a finaliza tratamentul termic. Conform diferitelor structuri de lucru, tuburile de miez al cuptorului lot pot fi împărțite în cuptoare orizontale și cuptoare verticale:

(1) Barca cu cuarț de înaltă puritate a cuptorului orizontal este plasată orizontal, deci se numește cuptor orizontal.

În procesul de tratare a căldurii, placa este încărcată pe barca cu cuarț de înaltă puritate, trimis lent în tubul cuptorului de cuarț, iar placa este plasată într -o zonă de temperatură constantă pentru procesare. După ce a așteptat finalizarea procesului, barcă de cuarț folosită de wafer este scoasă încet din cuptorul de cuarț pentru a împiedica deteriorarea plafonului din cauza modificărilor bruște ale temperaturii. Cuptoarele orizontale sunt utilizate pe scară largă în procesul de difuzie a circuitelor integrate cu diametre de placă mai mici de 200 mm. 

Avantajele cuptoarelor orizontale sunt procesul simplu, uniformitatea bună între napolitane și capacitatea de a procesa mai multe napolitane în același timp. Dezavantajele sunt viteza redusă de încălzire, dimensiunea mare a echipamentului, dificultatea de automatizare și intrarea ușoară a aerului exterior la încărcarea și descărcarea napolitanelor.

(2) Barca cu napolitană de cuarț de înaltă puritate a cuptorului vertical este plasată vertical, deci se numește cuptor vertical.

Placherul este încărcat pe turnul de cuarț și se ridică încet până la tubul cuptorului de cuarț pentru încălzire. În timpul procesului de încălzire, barca cu cuarț de înaltă puritate se va roti încet pentru a se asigura că placa este încălzită uniform. După procesare, turnul de cuarț va coborî încet pentru a evita schimbările de temperatură care pot provoca daune la placă. Cuptoarele verticale sunt utilizate în principal în procesul de circuit integrat de napolitane cu diametrul de 200 mm și 300 mm. Tehnologia de bază a cuptoarelor verticale constă în controlul câmpului de temperatură de înaltă precizie, controlul particulelor, controlul și motorizarea micro-oxigenului micro-oxigen. Avantajele cuptoarelor verticale sunt un strat subțire de oxid natural, o uniformitate bună, o automatizare mai ușoară, amprenta echipamentului mic și procesarea loturilor. Dezavantajul este că viteza de încălzire este lentă.

În domeniul fotovoltaic, procesul de producție al celulelor fotovoltaice necesită bărci de cuarț pentru a transporta și transporta plachete de siliciu în procesul de difuzie la temperatură înaltă. Tratamentul la temperatură ridicată într-o atmosferă de azot, oxigen sau alt gaz inert de puritate ridicată, cum ar fi difuzia fosforului sau difuzia borului, este un pas important în procesul de fabricație a celulelor solare. Scopul este de a forma o joncțiune PN pe placă de siliciu.

Barca de cuarț are sloturi concepute cu precizie în interior pentru a se asigura că placa de siliciu menține poziția exactă în timpul procesului de difuzie la temperaturi ridicate și este încălzită uniform. Deoarece materialul de cuarț are o rezistență bună la temperatură ridicată și o stabilitate chimică, nu va polua placa de siliciu, care este favorabilă menținerii unei curățenie ridicată a mediului de producție.

În calitate de inovator și lider în Wafer -ul din China, a folosit Piața cu Quartz Boat, indiferent dacă sunteți angajat în industria semiconductorilor sau în industria fotovoltaică, atât timp cât aveți nevoie Pentru tine în funcție de nevoile tale.

VeTek Semiconductor magazine de produse: