MOCVD Epitaxial Wafer

Susceptorul de placă epitaxială MOCVD este un susceptitor de wafer epitaxial de înaltă performanță, proiectat pentru echipamente MOCVD (depunere de vapori chimici metalici-organici). Susceptorul este fabricat din material de grafit SGL și acoperit cu acoperire cu carbură de siliciu, care combină conductivitatea termică ridicată a grafitului cu rezistența excelentă la temperatură ridicată și coroziune a SIC și este potrivit pentru mediul de lucru dur de temperatură ridicată, presiune ridicată și gaze corozive în timpul creșterii epitaxiale a semiconductorilor.

Materialul de grafit SGL are o conductivitate termică excelentă, ceea ce asigură că temperatura plafonului epitaxial este distribuită uniform în timpul procesului de creștere și îmbunătățește calitatea stratului epitaxial. Acoperirea SIC acoperită permite susceptitorului să reziste la temperaturi ridicate de peste 1600 ℃ și să se adapteze la mediul termic extrem în procesul MOCVD. În plus, acoperirea SIC poate rezista efectiv la gazele de reacție la temperaturi ridicate și la coroziunea chimică, să extindă durata de serviciu a susceptorului și să reducă poluarea.

Susceptorul de wafer Epitaxial de la Veteksemi MOCVD poate fi utilizat ca înlocuitor pentru accesoriile furnizorilor de echipamente MOCVD, cum ar fi AIXTRON.

● Dimensiune: Poate fi personalizat în funcție de nevoile clienților (dimensiunea standard disponibilă).

● Capacitate de transport: Poate transporta mai multe sau chiar mai mult de 50 de napolitane epitaxiale simultan (în funcție de dimensiunea susceptorului).

● Tratamentul de suprafață: Acoperire sic, rezistență la coroziune, rezistență la oxidare.

● Industria semiconductorilor: Utilizat pentru creșterea napolitanelor epitaxiale, cum ar fi LED -uri, diode laser și semiconductori de putere.

● Industria optoelectronică: Susține creșterea epitaxială a dispozitivelor optoelectronice de înaltă calitate.

● Cercetare și dezvoltare materială de ultimă generație: Aplicat la prepararea epitaxială a noilor semiconductori și materiale optoelectronice.

În funcție de tipul de echipament MOCVD al clientului și nevoile de producție, Vetek Semiconductor oferă servicii personalizate, inclusiv dimensiunea susceptitorilor, materialul, tratarea suprafeței etc., pentru a se asigura că cea mai potrivită soluție este oferită clienților.

CVD SIC Structura de cristal de film

Proprietăți fizice de bază ale acoperirii CVD SIC

Semiconductor MOCVD Magazine susceptitoare de wafer epitaxial