Braț robot din carbură de siliciu

Brațul robotizat cu carbură de siliciu din Veteksemicon este o soluție de prelucrare a semiconductorilor de înaltă calitate, concepută special pentru medii industriale dure. Folosind tehnologia avansată de materiale de carbură de siliciu de înaltă puritate, demonstrează o stabilitate și o durabilitate excepțională în temperaturi ridicate, medii corozive și condiții de vid ultra-înalte. Ca o componentă cheie în procesele de manevrare, gravură și depunere a waferului, brațul nostru robotizat îmbunătățește semnificativ productivitatea și reduce costurile de întreținere.

Ⅰ. Parametri tehnici

Ⅱ. Veteksemicon siliciu carbură robot robot braț avantaje de bază

1.. Toleranță extremă a mediului

Brațul nostru de robot folosește o acoperire SIC formulată în mod unic, care suferă mai multe procese de depunere la temperaturi ridicate, ceea ce îi permite să mențină integritatea structurală la temperaturi susținute de 1500 ° C și să reziste eficient coroziunea din bombardarea plasmatică și acid puternic și medii alcaline. Acest lucru abordează fundamental punctele de durere ale materialelor tradiționale care sunt predispuse la îmbătrânire și au o durată de viață scurtă în condiții de muncă extreme.

2. Proprietăți mecanice excelente

Prin adoptarea unei structuri compozite de substrat de grafit și acoperire SIC, am obținut o rigiditate care depășește cu mult cea a materialelor metalice, asigurând că brațul este extrem de ușor. Acest design asigură că deformarea brațului robot este extrem de mică în timpul mișcării reciproce de mare viteză, suprimând efectiv bruiajul, controlând astfel ferm precizia de poziționare repetată în ± 0,02 mm, asigurând transmiterea în siguranță a napolitanelor de precizie.

3. Curățenie ultra-înaltă

Înțelegem că contaminarea cu particule este ucigașul numărul unu al randamentului. Prin urmare, fiecare braț robot suferă o lustruire de precizie și un tratament specializat de suprafață, rezultând o rugozitate a suprafeței RA mai mică de 0,1 μm. Acoperirea aderă în siguranță, împiedicând orice risc de decojire. Produsele noastre sunt 100% testate de curățenie, îndeplinesc complet cerințele de cameră cu curățenie ultra-înaltă și sunt gata de utilizare în liniile de producție de ultimă generație.

4. Viața de serviciu lungă

Datorită durității inerente a SIC de 3000 HV și a rezistenței excelente la uzură, brațele noastre robot au o degradare minimă a performanței chiar și după zeci de mii de cicluri de mișcare. Durata lor de viață este de mai multe ori mai mare decât a componentelor obișnuite de ceramică sau aluminiu din aluminiu, reducând semnificativ timpul de oprire pentru înlocuire și întreținere, oferind o rentabilitate generală semnificativă pentru clienții noștri.

Ⅲ. Câmpuri principale de aplicații

Veteksemicon silicon carbide robot robot braț 'ecologic Chain Verificarea acoperă materiile prime pentru producție, a trecut certificarea standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a -și asigura fiabilitatea și durabilitatea în semiconductor și noile câmpuri energetice. Bine ați venit să ne consultați în orice moment.