Cuptor de presare la cald cu vid pentru lipirea cristalelor de semințe de carbură de siliciu

Tehnologia de legare a semințelor SiC este unul dintre procesele cheie care afecteazăcreșterea cristalelor.VETEK a dezvoltat un sistem specializatcuptor de presare la cald cu vidpentru lipirea semințelor pe baza caracteristicilor acestui proces. Cuptorul poate reduce eficient diferitele defecte generate în timpul procesului de lipire a semințelor, îmbunătățind astfel randamentul și calitatea finală a lingoului de cristal.

Introduce

1. Cuptorul este folosit pentru lipirea semințelor înainteCreșterea cristalelor de SiC

2. Sămânța lipită poate rămâne ferm atașată la o temperatură de 2300 ℃, menținând aderența 100% fără bule de aer, cu planeitate ridicată, suprafață curată a semințelor și fără impurități adsorbite

3.Plataforma încălzită este adoptată de rezistență la încălzirea zonei de încălzire uniformă în formă de disc spirală, este economică de utilizat, ușor de operat

4. Partea inferioară a platformei de încărcare echipată cu senzori de forță, forța de apăsare pe piesa de prelucrat este afișată cu precizie 

Introducere a funcției

1. Camera metalică răcită cu apă a peretelui dublu reduce în mod eficient temperatura suprafeței exterioare a corpului cuptorului, minimizează daunele provocate de temperatură ridicată și reduce impactul asupra mediului.

2. Poate obține o creștere automată a forței de apăsare și a forței de menținere, forță de încărcare lentă și deplasarea poate fi controlată automat.

3. Sunt disponibile configurații de vid diversificate și pot fi selectate diferite niveluri de vid în funcție de proces.

4.Presiune uniformă și precizie de control al temperaturii ridicate.

5. Structura de forță aerodinamică adoptă un design precis de împingere mecanică, asigurând forța de apăsare precisă și stabilă, utilizarea în siguranță și respectarea mediului.

6.Stampila în jos este conectată la tija de împingere cu mod „universal”. Este asigurat că atunci când piesa de prelucrat este suprimată, suprafața ștampilei în jos este în paralel adaptiv cu suprafața platformei încălzite, asigurați-vă că piesa de prelucrat suportă forța de deplasare uniformă.

7. Ștampila în jos are o funcție de tamponare a forței de încărcare, oferind forță netedă și moale, fără impact, pentru a preveni fisurarea piesei de prelucrat.

9. Atât platforma încălzită, cât și ștampila de forță aerodinamică sunt echipate cu scut de izolare termică pentru a reduce pierderea ineficientă de temperatură.

Parametru

Caracteristică

1. Pompare lentă cu vid, rata de pompare cu vid reglabilă

2.Cameră mare, spațiu mare de upgrade

3.Stampila de jos rulează stabil și funcționează automat

4. Relieful lent și creșterea lentă a forței de apăsare, rampa forței de apăsare conform rețetei de control automat

5. Control programat precis al temperaturii și forței de apăsare

6. Parametrii de vid, forță de presiune și temperatură pot fi setați liber pentru a se potrivi cu diferite procese de lipire

7.Lipirea este compactată și fără bule

8.Rata de fisurare este extrem de scăzută, aproape fără fisuri cauzate de problemele echipamentelor

9.Compatibil cu lipirea semințelor de 6-12 inci

10.Max. forță de presiune: 1,6 T

11. Vid final: 5 Pa (rece)

12. Uniformitatea temperaturii platformei încălzite: ＜±3℃，σ<4（200℃）

13.Fluctuația presiunii: <0,5%