Inel acoperit cu TAC

Inelul acoperit Veteksemi TAC este o componentă de înaltă performanță adaptată proceselor de fabricație a semiconductorilor. Acoperirea sa de carbură de tantalum proiectată în mod unic oferă produsului rezistență excelentă la temperatură ridicată, rezistență la coroziune și stabilitate mecanică, îmbunătățind semnificativ durata de viață a serviciului și fiabilitatea componentelor de grafit în echipamentele semiconductoare.

Performanță superioară a acoperirilor cu carbură de tantalum ：

● Rezistență la temperatură ultra-ridicată: acoperirile TAC pot rezista cu ușurință la temperaturi extreme de până la 2200 ° C și pot rămâne stabile în mediile de șoc termic frecvente la fabricarea semiconductorilor.

● Stabilitate chimică excelentă: Acoperirea prezintă o rezistență puternică la gazele corozive comune, cum ar fi hidrogenul, amoniacul, silanul și siliciul, protejând eficient substratul de atacul chimic.

● Proprietăți mecanice excelente: Acoperirea TAC are duritate ridicată, rezistență ridicată la uzură și rezistență la șocuri termice bune și poate funcționa stabil pentru o lungă perioadă de timp în condiții de muncă dure.

● aderență excelentă: acoperirea este strâns legată de substratul de grafit, împiedicând efectiv acoperirea și asigurând performanțe constante pe toată durata duratei de muncă a produsului.

● Puritate ridicată: Acoperirea TAC pregătită de CVD are o puritate extrem de ridicată, ceea ce minimizează introducerea impurităților și oferă un mediu de proces curat pentru fabricarea semiconductorilor.

Avantaje ale inelelor acoperite cu carbură de tantal:

● Durata de viață extinsă a echipamentului: Acoperirea TAC blochează eficient reacțiile chimice și difuzarea impurității, extinzând semnificativ durata de viață a componentelor de grafit și reducând costurile de întreținere.

● Îmbunătățirea eficienței producției: Rezistența la temperatură ridicată a produsului și rezistența la coroziune îi permite să funcționeze în condiții mai solicitante, scurtarea ciclului de producție și creșterea capacității de producție.

● Calitatea îmbunătățită a produsului: Acoperirea TAC de înaltă puritate ajută la reducerea contaminării, asigurând calitatea și consistența produselor semiconductoare.

Vetek Semiconductor a fost specializat în produse de acoperire TAC, cum ar fiTAC Acoperirea Chuck, Placă de rotație a acoperirii TAC, Subser de acoperire TAC, Susceptitor de placă acoperită cu TACmulți ani. Produsele noastre cu inel acoperit cu TAC au funcțiile de durată de viață extinsă, eficiență îmbunătățită a producției și o calitate îmbunătățită a produsului. În același timp, Vetek Semiconductor s -a angajat de mult timp să ofere soluții avansate de tehnologie și produse pentru industria semiconductorilor. 

Datorită diferitelor proprietăți chimice ale materialelor de carbură de grafit și tantal, coeficientul de expansiune termică nu se va potrivi și este ușor de încălzit la temperatură ridicată prin semiconductor vetek printr -un proces specific pentru a promova formarea de acoperire a carburii de tantal, parțial depusă pe suprafața matricei și parțial penetrată în matrice. În acest fel, acoperirea cu carbură de tantalum este strâns cuibărită în matricea grafitului prin creșterea in situ, ceea ce crește semnificativ forța de legare între acoperire și matrice și împiedică efectiv decojirea de acoperire a carburii de tantal.

Magazine cu inele acoperite cu carbură Tantalum: