Cercetă electrostatică ceramică

Procesele de producție a semiconductorilor, în special prelucrarea plafonilor, sunt efectuate într -un mediu de vid și prin prindere mecanică a navelor de napolitane 

anumite riscuri. Atunci când forța este concentrată pe punctul de prindere, napolitane de siliciu fragile pot arunca fragmente minuscule, provocând daune grave producției de napolitane.

În acest caz, mand -ul electrostatic ceramic devine o alegere mai bună, care fixează placa prin forță electrostatică. Forța electrostatică acționează uniform pe placă, astfel încât placa să poată fi fixată, îmbunătățind exactitatea procesului.

Conform documentelor de cercetare relevante, mand -ul electrostatic ceramic are o aspirație mai puternică decât alte muchii electrostatice. De exemplu, ceramică electrostatică Chuck are o aspirație mult mai puternică decât PET Film Electrostatic Chuck.

Chuck-ul de ceramică este de obicei fabricat din materiale ceramice de înaltă performanță, cum ar fi Al2O3, ALN sau SIC, care are rezistență ridicată la căldură, izolare și rezistență la coroziune. Mand-ul ceramic poros SIC nu este doar stabil la temperaturi extreme, dar, de asemenea, previne eficient e-chuck-ul ceramic de la degradare din cauza reactivilor chimici și a gravurii plasmatice în timpul procesului de fabricație.

Controlul temperaturii: Conductivitatea termică ridicată și proprietățile termice stabile ale materialelor ceramice permit mandatului de vid ceramic de alumină să controleze eficient temperatura, optimizând astfel distribuția temperaturii în timpul procesului.

Adaptabilitatea în vid: Mandrina electrostatică ceramică este potrivită pentru medii în vid, în special în procesele de gravare de înaltă presiune și de înaltă precizie.

Generare scăzută a particulelor: E-Chuck poros SIC ceramică are o suprafață netedă, care poate reduce contaminarea particulelor în timpul fixării plafonului și poate ajuta la îmbunătățirea randamentului produsului.

Aplicație: utilizat în principal la fabricarea semiconductorilor, mandrina electrostatică ceramică detașabilă, oferind poziționare și stabilitate precisă, ceea ce este foarte util pentru litografie, gravură și alte procese de prelucrare a prelucrării plafonului semiconductor. Asigurați -vă că placa este intactă în timpul procesării și îmbunătățiți calitatea producției de cipuri.

SemiconductorMagazine de producție ceramică E-Chuck: