Chucks ceramică poroasă

Chucile ceramice poroase SIC oferite de Veteksemicon sunt obținute din carbură de siliciu poros de înaltă puritate (SIC), acest mandrină ceramică asigură un flux uniform de gaz, planeitate excelentă și stabilitate termică în condiții ridicate de vid și temperatură. Este ideal pentru sistemele de prindere în vid, unde este esențială manipularea de placă fără contact, fără particule.

Ⅰ. Proprietățile cheie ale materialului și beneficiile de performanță

1.. Conductivitate termică excelentă și rezistență la temperatură

Carbura de siliciu oferă o conductivitate termică ridicată (120-200 W/M · K) și poate rezista la temperaturi de funcționare peste 1600 ° C, ceea ce face ca mand-ul să fie ideal pentru gravura plasmatică, procesarea fasciculului ionic și procesele de depunere la temperaturi ridicate.

Rolul: asigură disiparea uniformă a căldurii, reducerea paginii de război a plafonului și îmbunătățind uniformitatea procesului.

2.. Rezistență mecanică superioară și rezistență la uzură

Microstructura densă a SiC oferă mandrului o duritate excepțională (> 2000 HV) și durabilitate mecanică, esențială pentru cicluri de încărcare/descărcare a plafonului repetat și medii de proces dure.

Rolul: prelungește durata de viață a lui Chuck, menținând în același timp stabilitatea dimensională și precizia suprafeței.

3. Porozitate controlată pentru distribuția uniformă a vidului

Structura poroasă fin reglată a ceramicii permite o aspirație constantă în vid pe suprafața plafonului, asigurând plasarea securizată a plafonului cu o contaminare minimă a particulelor.

Rolul: îmbunătățește compatibilitatea camerei curate și asigură procesarea wafer-ului fără daune.

4. Rezistență chimică excelentă

Inerarea lui Sic față de gazele corozive și mediile plasmatice protejează mand -ul de degradare în timpul gravurii cu ioni reactivi sau curățarea chimică.

Rol: minimizează timpul de oprire și frecvența de curățare, reducând costurile operaționale.

Ⅱ. Serviciile de personalizare și asistență Veteksemicon

La Veteksemicon, oferim un spectru complet de servicii personalizate pentru a răspunde cerințelor exacte ale producătorilor de semiconductori:

● Geometria personalizată și designul dimensiunii porilor: Oferim mutri în diferite dimensiuni, grosimi și densități de pori personalizate pentru specificațiile echipamentului și cerințele de vid.

● Prototiparea rapidă de transformare: Timpuri scurte de plumb și suport scăzut de producție MOQ pentru cercetare și dezvoltare și linii pilot.

● Serviciu fiabil după vânzare: De la îndrumarea de instalare la monitorizarea ciclului de viață, asigurăm stabilitatea performanței pe termen lung și asistența tehnică.

Ⅲ. Aplicații

● Echipamente de gravură și procesare plasmatică

● Camere de implantare ionică și recoacere

● Sisteme de lustruire mecanică chimică (CMP)

● Platforme de metrologie și inspecție

● Sisteme de deținere și de prindere în vid în medii cu curat

Magazin de produse Vekekemeicon: