Chuck de vid

Aplicație: 

Un much de vid de înaltă eficiență eficientă elaborat pentru adsorbția precisă și fixarea fermă a napolitanelor și a lingourilor. Este bine - potrivit pentru situații, inclusiv fabricarea semiconductorilor, tăierea plafonului, procesarea preciziei, epitaxia la temperatură ridicată, gravura și implantarea ionilor.

Parametri de bază:

● Porozitate reglabilă (cuprinsă între 10 - 200μm).
● Capabil să reziste la temperaturi ultra -ridicate (până la ≤1600 ° C) și să prezinte o rezistență excelentă la șoc termic.
● Vid de adsorbție: standardul este - 90kpa (personalizabil pentru a ajunge la 100kpa).

● Dimensiuni ale cupei de aspirație: poate suporta napolitane 4/6/8/12 - inch, iar dimensiunea lingourii poate fi adaptată în funcție de nevoile specifice.

Ⅰ. Descriere

Veteksemicon Ceramic Vid Chuck folosește o structură combinată de ceramică poroasă și un inel exterior metalic. Prin proiectarea personalizată a canalelor de aer și a porii, realizează o distribuție uniformă a forței de adsorbție și a unei stabilități ridicate. Acest much a fost potrivit pentru fabricarea semiconductorilor, tăierea napolitanei, prelucrarea preciziei, etc. Poate funcționa în setări de mișcare ridicată - temperatură și viteză ridicată și îndeplinește cerințele de compatibilitate ale napolitanelor/lingurilor de dimensiuni diferite.

Ⅱ. Structura de bază și avantajele materiale

Aspect compus cu mai multe straturi:

✔ Strat de suprafață: Fabricat din ceramică poroasă (puteți alege între carbură de siliciu poros sau grafit poros). Diametrul porilor poate fi ajustat (10 - 200μm), ceea ce garantează că forța de adsorbție este transferată uniform pe suprafața plafonului, împiedicând astfel construirea stresului local.

✔ matrice: Compus dintr -un cadru metalic extrem de rigid (fie oțel inoxidabil, fie aliaj de aluminiu) pentru a oferi suport structural și etanșitate.

✔ Căi respiratorii și pori: Căile respiratorii interne prelucrate cu precizie formează o rețea, împreună cu micropore distanțate uniform. Această configurație acceptă extracția rapidă a vidului (forța de adsorbție poate ajunge până la - 90kPa) și eliberare instantanee.

Ⅲ . Comparația MACaracteristici teriale

1. Comparația proprietăților materialului

2. Scenarii și cazuri de aplicație

✔ Fabricatio semiconductor

Creștere epitaxială: poate adsorba ferm napolitane SIC la temperaturi ridicate, împiedicând napolitarii să se deformeze și să se contamineze.

Litografie și gravură: permite poziționarea precisă pe platformele de mișcare de mare viteză (accelerație ≤10g), asigurând exactitatea alinierii grafice.

✔ Prelucrarea lingurilor

Tăiere și măcinare: poate adsorbi linguri grele (cum ar fi safir și siliciu - lingouri de carbură), reducând fisurarea marginilor din cauza vibrațiilor.

✔ Cercetare științifică și tehnologii speciale

Înființarea - Temperatura de recoacere: siliciu poros - Cupele de aspirație din carbură pot funcționa continuu la 1600 ° C, fără deformare sau poluare de aerisire.

Acoperire în vid: cu un design ridicat - aer - se poate adapta la mediul PVD/CVD Cavitate.

3. Serviciu personalizat

✔ Oferim personalizare pentru dimensiune și încărcare.

✔ Stomatele și căile respiratorii pot fi optimizate pentru a îndeplini cerințele specifice.

✔ Poate fi adaptat la medii speciale.

Ⅳ. FAQ:

Cum realizează mandaturile de vid compatibilitate de placă cu mai multe dimensiuni (de exemplu, 12/8/6 ")?

Î: Cum se încadrează un singur muck într-o placă de 12 inci, 8 inci și 6 inci în același timp? Este necesară restructurarea fizică?

O:Compatibilitatea multidimensională prin căile respiratorii adaptive și partiționarea stomatală:

✔ Control stomatal dinamic: Stomatele de pe suprafața fraierului sunt distribuite într -o zonă inelară, iar circuitul de aer din diferite zone este controlat de o supapă externă.

De exemplu, atunci când absorb o placă de 8 inci, sunt activate doar porii din zona centrală, iar porii exteriori sunt închise (pentru a evita scurgerea forței de adsorbție).

✔ Proiectare flexibilă a căilor respiratorii: Rețeaua de porturi are un aspect modular care se potrivește cu profilurile de margine ale napolitanelor de diferite dimensiuni pentru a asigura o acoperire uniformă a forței de adsorbție. şi Avantajele sunt la fel de următoare:

Înlocuirea hardware zero: nu este nevoie să eliminați sau să înlocuiți cupa de aspirație, prin software sau comutator de supapă de gaz poate fi adaptat la diferite dimensiuni.

Economii de costuri: reduceți costurile de renovare a echipamentelor și timpul de oprire și creșteți flexibilitatea liniei de producție.