Suport pentru barcă de napolitană SiC de înaltă puritate

VeTekSemi Suportul de barcă de napolitană SiC de înaltă puritate este o componentă importantă a rulmentului utilizată în cuptoare de recoacere, cuptoare de difuzie și alte echipamente în procesul de fabricație a semiconductorilor. Suportul pentru barcă de napolitană SiC de înaltă puritate este de obicei realizat din material din carbură de siliciu de înaltă puritate și include în principal următoarele părți:

• Corp de sprijin pentru bărci: o structură asemănătoare unui suport, folosit special pentru a transportaplachete de siliciusau alte materiale semiconductoare.

• Structura de susținere: Designul structurii sale de susținere îi permite să suporte sarcini mari la temperaturi ridicate și nu se va deforma sau deteriora în timpul tratamentului la temperaturi ridicate.

Material din carbură de siliciu

Proprietățile fizice aleCarbură de siliciu recristalizată：

Dacă cerințele procesului de producție sunt mai mari,Acoperire CVD SiCpoate fi realizat pe suportul de napolitană SiC de înaltă puritate pentru a face ca puritatea să ajungă la mai mult de 99,99995%, îmbunătățind și mai mult rezistența la temperaturi ridicate.

Proprietăți fizice de bază ale acoperirii CVD SIC:

În timpul tratamentului cu temperaturi ridicate, purtătorul de barcă cu barcă cu puritate de înaltă puritate permite încălzirea uniformă a plafonului de siliciu pentru a evita supraîncălzirea locală. În plus, rezistența la temperatură ridicată a materialului din carbură de siliciu îi permite să mențină stabilitatea structurală la temperaturi de 1200 ° C sau chiar mai mari.

În timpul procesului de difuzie sau de recoacere, paleta de cantilever și transportatorul de barcă cu barcă de înaltă puritate SIC lucrează împreună.Paddle cantileverîmpinge încet suportul pentru barcă de napolitană SiC de înaltă puritate care transportă placa de siliciu în camera cuptorului și o oprește într-o poziție desemnată pentru procesare. 

Suportul de napolitană SiC de înaltă puritate menține contactul cu placheta de siliciu și este fixat într-o poziție specifică în timpul procesului de tratament termic, în timp ce paleta cantilever ajută la menținerea întregii structuri în poziția corectă, asigurând în același timp uniformitatea temperaturii.

Transportatorul de barcă cu barcă cu puritate de înaltă puritate și paleta de cantilever lucrează împreună pentru a asigura exactitatea și stabilitatea procesului de temperatură ridicată.

Semiconductorvă oferă un suport personalizat de napolitană SiC de înaltă puritate, în funcție de nevoile dumneavoastră. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

SemiconductorMagazine de transport cu barca de înaltă puritate sic sic wafer: