Produse

Cuptor de oxidare și difuzie

Cuptoarele de oxidare și difuzie sunt utilizate în diferite câmpuri, cum ar fi dispozitive semiconductoare, dispozitive discrete, dispozitive optoelectronice, dispozitive electronice de alimentare, celule solare și fabricarea de circuit integrate pe scară largă. Sunt utilizate pentru procese, inclusiv difuzarea, oxidarea, recoacerea, alierea și sinterizarea napolitanelor.


Vetek Semiconductor este un producător principal specializat în producerea de componente de grafit de înaltă puritate, carbură de siliciu și cuarț în cuptoarele de oxidare și difuzie. Ne-am angajat să oferim componente cuptor de înaltă calitate pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice și suntem în fruntea tehnologiei de acoperire de suprafață, cum ar fi CVD-SIC, CVD-TAC, Pirocarbon, etc.


Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

● Rezistență la temperatură ridicată (până la 1600 ℃)

● Conductivitate termică excelentă și stabilitate termică

● O bună rezistență la coroziune chimică bună

● Coeficient scăzut de expansiune termică

● Forță și duritate ridicată

● Durata de viață lungă


În cuptoarele de oxidare și difuzie, datorită prezenței la temperaturi ridicate și gaze corozive, multe componente necesită utilizarea materialelor rezistente la temperatură ridicată și rezistentă la coroziune, printre care carbura de siliciu (SIC) este o alegere frecvent utilizată. Următoarele sunt componente comune de carbură de siliciu care se găsesc în cuptoarele de oxidare și cuptoarele de difuzie:



● Barcă de placă

Barca de placă din carbură de siliciu este un recipient folosit pentru a transporta napolitane de siliciu, care poate rezista la temperaturi ridicate și nu va reacționa cu napolitane de siliciu.


● Tubul cuptorului

Tubul cuptorului este componenta de bază a cuptorului de difuzie, utilizat pentru a găzdui napolitane de siliciu și pentru a controla mediul de reacție. Tuburile cuptorului din carbură de siliciu au performanțe excelente de rezistență la temperatură ridicată și la coroziune.


● Placă defecțiune

Utilizat pentru a regla fluxul de aer și distribuția temperaturii în interiorul cuptorului


● Tub de protecție a termocuplei

Utilizat pentru a proteja temperatura de măsurare a termocuplelor de contactul direct cu gazele corozive.


● Paddle cantilever

Paletele de cantilever din carbură de siliciu sunt rezistente la temperaturi ridicate și coroziune și sunt utilizate pentru a transporta bărci de siliciu sau bărci de cuarț care transportă napolitane de siliciu în tuburile cuptorului de difuzie.


● Injectorul de gaz

Folosit pentru a introduce gaz de reacție în cuptor, acesta trebuie să fie rezistent la temperaturi ridicate și coroziune.


● Transportator pentru bărci

Transportatorul de barcă cu napolitane de siliciu este utilizat pentru a repara și susține napolitane de siliciu, care au avantaje precum rezistența ridicată, rezistența la coroziune și o bună stabilitate structurală.


● Ușa cuptorului

Acoperirile sau componentele din carbură de siliciu pot fi, de asemenea, utilizate pe interiorul ușii cuptorului.


● Element de încălzire

Elementele de încălzire a carburii de siliciu sunt potrivite pentru temperaturi ridicate, putere ridicată și pot crește rapid temperaturile la peste 1000 ℃.


● SiC Liner

Folosit pentru a proteja peretele interior al tuburilor cuptorului, acesta poate ajuta la reducerea pierderii de energie termică și să reziste la medii dure, cum ar fi temperatura ridicată și presiunea ridicată.

View as  
 
Barcă de napolitană ceramică cu carbură de siliciu

Barcă de napolitană ceramică cu carbură de siliciu

Vetek Semiconductor este specializat în furnizarea de bărci de navă de înaltă calitate, piedestale și purtători de napolitane personalizate în configurații verticale/coloane și orizontale pentru a îndeplini diverse cerințe de proces semiconductor. În calitate de producător și furnizor de filme de acoperire cu carbură din siliciu, barca noastră de wafer din ceramică din carbură de siliciu este favorizată de piețele europene și americane pentru rentabilitatea lor ridicată și de calitate excelentă și sunt utilizate pe scară largă în procesele avansate de fabricație a semiconductorilor. Vetek Semiconductor se angajează să stabilească relații de cooperare pe termen lung și stabile cu clienții la nivel mondial și, în special, speră să devină partenerul dvs. de fiabil de proces semiconductor în China.
Paleta cantilever din carbură de siliciu (SiC).

Paleta cantilever din carbură de siliciu (SiC).

Rolul paletei de carbură de siliciu (SIC) în industria semiconductorilor este de a sprijini și transporta napolitane. În procesele de temperatură ridicată, cum ar fi difuzarea și oxidarea, paleta SIC Cantilever poate transporta în mod stabil bărci și napolitane fără deformare sau deteriorare din cauza temperaturii ridicate, asigurând progresul lin al procesului. Realizarea difuziei, oxidării și a altor procese mai uniformă este crucială pentru îmbunătățirea consistenței și a randamentului procesării napolitanei. Vetek Semiconductor folosește o tehnologie avansată pentru a construi paleta Sic Cantilever cu carbură de siliciu de înaltă puritate pentru a se asigura că napolitane nu vor fi contaminate. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să coopereze pe termen lung cu dvs. pe produsele cu carbură de siliciu (SIC) Cantilever Paddle.
Crezet de cuarț

Crezet de cuarț

VeTek Semiconductor este un important furnizor și producător de creuzete de cuarț din China. creuzetele de cuarț pe care le producem sunt utilizate în principal în câmpurile semiconductoare și fotovoltaice. Au proprietăți de curățenie și rezistență la temperaturi ridicate. Iar creuzetul nostru de cuarț pentru semiconductor sprijină procesele de producție de tragere, încărcare și descărcare a tijei de siliciu a materiilor prime din polisiliciu în procesul de producție a plachetelor de siliciu cu semiconductor și sunt consumabile cheie pentru producția de plachete de siliciu. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul tău pe termen lung în China.
Transportator de napolitane de carbură de siliciu

Transportator de napolitane de carbură de siliciu

În calitate de furnizor de transportatori profesioniști din carbură de siliciu în China, Vetek Semiconductor SIC Wafer Carrier este un instrument special utilizat pentru manipularea și prelucrarea napolitanelor cu semiconductor, care joacă un rol de neînlocuit în procesul de napolitane cu semiconductor. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.
Piedestal de silicon

Piedestal de silicon

Piedestalul de siliciu cu semiconductor Vetek este o componentă cheie în procesele de difuzie și oxidare a semiconductorului. Ca o platformă dedicată pentru transportul bărcilor de siliciu în cuptoarele cu temperaturi ridicate, piedestalul de siliciu are multe avantaje unice, inclusiv uniformitatea de temperatură îmbunătățită, calitatea de placă optimizată și performanța îmbunătățită a dispozitivelor semiconductoare. Pentru mai multe informații despre produs, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.
Inel de etanșare ceramică sic

Inel de etanșare ceramică sic

În calitate de fabrică pe scară largă și furnizor de produse cu inel de etanșare ceramică SIC din China, inelul de etanșare ceramică cu semiconductor Vetek SIC are o gamă largă de aplicații în câmpul industrial, datorită conductivității termice excelente, a rezistenței chimice și a coroziunii deosebite și a rezistenței și rigidității ridicate. Bine ați venit la întrebările dvs. suplimentare.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


În calitate de profesionist Cuptor de oxidare și difuzie producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Cuptor de oxidare și difuzie realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept