Cuptor de oxidare și difuzie

Cuptoarele de oxidare și difuzie sunt utilizate în diferite câmpuri, cum ar fi dispozitive semiconductoare, dispozitive discrete, dispozitive optoelectronice, dispozitive electronice de alimentare, celule solare și fabricarea de circuit integrate pe scară largă. Sunt utilizate pentru procese, inclusiv difuzarea, oxidarea, recoacerea, alierea și sinterizarea napolitanelor.

Vetek Semiconductor este un producător principal specializat în producerea de componente de grafit de înaltă puritate, carbură de siliciu și cuarț în cuptoarele de oxidare și difuzie. Ne-am angajat să oferim componente cuptor de înaltă calitate pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice și suntem în fruntea tehnologiei de acoperire de suprafață, cum ar fi CVD-SIC, CVD-TAC, Pirocarbon, etc.

Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

● Rezistență la temperatură ridicată (până la 1600 ℃)

● Conductivitate termică excelentă și stabilitate termică

● O bună rezistență la coroziune chimică bună

● Coeficient scăzut de expansiune termică

● Forță și duritate ridicată

● Durata de viață lungă

În cuptoarele de oxidare și difuzie, datorită prezenței la temperaturi ridicate și gaze corozive, multe componente necesită utilizarea materialelor rezistente la temperatură ridicată și rezistentă la coroziune, printre care carbura de siliciu (SIC) este o alegere frecvent utilizată. Următoarele sunt componente comune de carbură de siliciu care se găsesc în cuptoarele de oxidare și cuptoarele de difuzie:

● Barcă de placă

Barca de placă din carbură de siliciu este un recipient folosit pentru a transporta napolitane de siliciu, care poate rezista la temperaturi ridicate și nu va reacționa cu napolitane de siliciu.

● Tubul cuptorului

Tubul cuptorului este componenta de bază a cuptorului de difuzie, utilizat pentru a găzdui napolitane de siliciu și pentru a controla mediul de reacție. Tuburile cuptorului din carbură de siliciu au performanțe excelente de rezistență la temperatură ridicată și la coroziune.

● Placă defecțiune

Utilizat pentru a regla fluxul de aer și distribuția temperaturii în interiorul cuptorului

● Tub de protecție a termocuplei

Utilizat pentru a proteja temperatura de măsurare a termocuplelor de contactul direct cu gazele corozive.

● Paddle cantilever

Paletele de cantilever din carbură de siliciu sunt rezistente la temperaturi ridicate și coroziune și sunt utilizate pentru a transporta bărci de siliciu sau bărci de cuarț care transportă napolitane de siliciu în tuburile cuptorului de difuzie.

● Injectorul de gaz

Folosit pentru a introduce gaz de reacție în cuptor, acesta trebuie să fie rezistent la temperaturi ridicate și coroziune.

● Transportator pentru bărci

Transportatorul de barcă cu napolitane de siliciu este utilizat pentru a repara și susține napolitane de siliciu, care au avantaje precum rezistența ridicată, rezistența la coroziune și o bună stabilitate structurală.

● Ușa cuptorului

Acoperirile sau componentele din carbură de siliciu pot fi, de asemenea, utilizate pe interiorul ușii cuptorului.

● Element de încălzire

Elementele de încălzire a carburii de siliciu sunt potrivite pentru temperaturi ridicate, putere ridicată și pot crește rapid temperaturile la peste 1000 ℃.

● SiC Liner

Folosit pentru a proteja peretele interior al tuburilor cuptorului, acesta poate ajuta la reducerea pierderii de energie termică și să reziste la medii dure, cum ar fi temperatura ridicată și presiunea ridicată.

View as

Tub de cuptor de difuzie sic

În calitate de producător de lider și furnizor de echipamente de cuptor de difuzie în China, tubul cuptorului de difuzie cu semiconductor vetek SIC are o rezistență de îndoire semnificativ ridicată, o rezistență excelentă la oxidare, rezistență la coroziune, rezistență ridicată la uzură și proprietăți mecanice excelente la temperaturi ridicate. Făcându -l un material de echipament indispensabil în aplicațiile cuptorului de difuzie. Vetek Semiconductor se angajează să producă și să furnizeze tubul cuptorului de difuzie SIC de înaltă calitate și vă salută anchetele suplimentare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Suport pentru barcă de napolitană SiC de înaltă puritate

Vetek Semiconductor oferă transportator de barcă personalizat de înaltă puritate SIC Wafer. Fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate, acesta prezintă sloturi pentru a ține placa în loc, împiedicându -l să alunece în timpul procesării. Acoperirea CVD SIC este, de asemenea, disponibilă, dacă este necesar. În calitate de producător și furnizor de semiconductori profesioniști și puternici, transportatorul de barcă cu barcă de înaltă puritate Vetek Semiconductor este competitiv la prețuri și de înaltă calitate. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să fie partenerul dvs. pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Paletă de cantilever de înaltă puritate

Vetek Semiconductor este un producător de frunte și furnizor de produse de paddle cu cantilever de înaltă puritate în China. Paletele de cantilever SIC de înaltă puritate sunt utilizate în mod obișnuit în cuptoarele de difuzie cu semiconductor ca platforme de transfer sau încărcare a plafonilor.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Vertical Coloana Wafer Boat & Piedestal

Barca de placă verticală a coloanei verticale Vetek Semiconductor este confecționată din cuarț de înaltă puritate sau materiale ceramice de carbon de siliciu (SIC), cu o rezistență excelentă la temperatură ridicată, stabilitate chimică și rezistență mecanică și este o componentă de miez indispensabilă în procesul de fabricație a semiconductorului. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Barcă de wafer contigu

Vetek Semiconductor Contigue Wafer Boat este un echipament avansat pentru procesarea semiconductorului. Structura produsului este concepută cu atenție pentru a asigura procesarea eficientă și producerea de napolitane de precizie. Veteksemi acceptă soluții de produse personalizate și așteaptă cu nerăbdare consultarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Suport orizontal pentru napolitane SiC

Vetek Semiconductor este un producător profesionist și furnizor de inel de ghidare acoperit TAC, transportator orizontal SIC Wafer și susceptitori acoperiți cu SIC în China. Ne -am angajat să oferim asistență tehnică perfectă și soluții de produse finale pentru industria semiconductorilor. Bine ați venit să ne contactați.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

În calitate de profesionist Cuptor de oxidare și difuzie producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Cuptor de oxidare și difuzie realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Cuptor de oxidare și difuzie

Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

Tub de cuptor de difuzie sic

Suport pentru barcă de napolitană SiC de înaltă puritate

Paletă de cantilever de înaltă puritate

Vertical Coloana Wafer Boat & Piedestal

Barcă de wafer contigu

Suport orizontal pentru napolitane SiC

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare