Cuptor de oxidare și difuzie

Cuptoarele de oxidare și difuzie sunt utilizate în diferite câmpuri, cum ar fi dispozitive semiconductoare, dispozitive discrete, dispozitive optoelectronice, dispozitive electronice de alimentare, celule solare și fabricarea de circuit integrate pe scară largă. Sunt utilizate pentru procese, inclusiv difuzarea, oxidarea, recoacerea, alierea și sinterizarea napolitanelor.

Vetek Semiconductor este un producător principal specializat în producerea de componente de grafit de înaltă puritate, carbură de siliciu și cuarț în cuptoarele de oxidare și difuzie. Ne-am angajat să oferim componente cuptor de înaltă calitate pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice și suntem în fruntea tehnologiei de acoperire de suprafață, cum ar fi CVD-SIC, CVD-TAC, Pirocarbon, etc.

Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

● Rezistență la temperatură ridicată (până la 1600 ℃)

● Conductivitate termică excelentă și stabilitate termică

● O bună rezistență la coroziune chimică bună

● Coeficient scăzut de expansiune termică

● Forță și duritate ridicată

● Durata de viață lungă

În cuptoarele de oxidare și difuzie, datorită prezenței la temperaturi ridicate și gaze corozive, multe componente necesită utilizarea materialelor rezistente la temperatură ridicată și rezistentă la coroziune, printre care carbura de siliciu (SIC) este o alegere frecvent utilizată. Următoarele sunt componente comune de carbură de siliciu care se găsesc în cuptoarele de oxidare și cuptoarele de difuzie:

● Barcă de placă

Barca de placă din carbură de siliciu este un recipient folosit pentru a transporta napolitane de siliciu, care poate rezista la temperaturi ridicate și nu va reacționa cu napolitane de siliciu.

● Tubul cuptorului

Tubul cuptorului este componenta de bază a cuptorului de difuzie, utilizat pentru a găzdui napolitane de siliciu și pentru a controla mediul de reacție. Tuburile cuptorului din carbură de siliciu au performanțe excelente de rezistență la temperatură ridicată și la coroziune.

● Placă defecțiune

Utilizat pentru a regla fluxul de aer și distribuția temperaturii în interiorul cuptorului

● Tub de protecție a termocuplei

Utilizat pentru a proteja temperatura de măsurare a termocuplelor de contactul direct cu gazele corozive.

● Paddle cantilever

Paletele de cantilever din carbură de siliciu sunt rezistente la temperaturi ridicate și coroziune și sunt utilizate pentru a transporta bărci de siliciu sau bărci de cuarț care transportă napolitane de siliciu în tuburile cuptorului de difuzie.

● Injectorul de gaz

Folosit pentru a introduce gaz de reacție în cuptor, acesta trebuie să fie rezistent la temperaturi ridicate și coroziune.

● Transportator pentru bărci

Transportatorul de barcă cu napolitane de siliciu este utilizat pentru a repara și susține napolitane de siliciu, care au avantaje precum rezistența ridicată, rezistența la coroziune și o bună stabilitate structurală.

● Ușa cuptorului

Acoperirile sau componentele din carbură de siliciu pot fi, de asemenea, utilizate pe interiorul ușii cuptorului.

● Element de încălzire

Elementele de încălzire a carburii de siliciu sunt potrivite pentru temperaturi ridicate, putere ridicată și pot crește rapid temperaturile la peste 1000 ℃.

● SiC Liner

Folosit pentru a proteja peretele interior al tuburilor cuptorului, acesta poate ajuta la reducerea pierderii de energie termică și să reziste la medii dure, cum ar fi temperatura ridicată și presiunea ridicată.

View as

Barcă de napolitană SiC

Barca de napolitană SiC este folosită pentru a transporta napolitana, în principal pentru procesul de oxidare și difuzie, pentru a se asigura că temperatura poate fi distribuită uniform pe suprafața napolitanelor. Stabilitatea la temperaturi ridicate și conductivitatea termică ridicată a materialelor SiC asigură o procesare eficientă și fiabilă a semiconductoarelor. Vetek semiconductor se angajează să furnizeze produse de calitate la prețuri competitive.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Tub de proces SIC

Vetek Semiconductor oferă tuburi de proces SIC de înaltă performanță pentru fabricarea semiconductorilor. Tuburile noastre de proces SIC excelează în oxidare, procese de difuzie. Cu o calitate superioară și măiestrie, aceste tuburi oferă o stabilitate la temperatură ridicată și o conductivitate termică pentru procesarea eficientă a semiconductorului. Oferim prețuri competitive și căutăm să fii partenerul tău pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Vâslă cantilever SiC

Paleta Cantilever SiC de la VeTek Semiconductor este utilizată în cuptoarele de tratament termic pentru manipularea și susținerea bărcilor napolitane. Stabilitatea la temperaturi ridicate și conductivitatea termică ridicată a materialului SiC asigură eficiență și fiabilitate ridicate în procesul de procesare a semiconductorilor. Ne angajăm să oferim produse de înaltă calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Barcă de napolitană cu carbură de siliciu pentru cuptor orizontal

Barca de napolitană SiC are cerințe ridicate în puritatea materialului. Vetek Semiconductor furnizează puritate SiC ＞99,96% SiC recristalizat la acest produs. producția, poate controla bine calitatea și poate oferi un preț competitiv. Puteți fi siguri că cumpărați barca napolitană cu carbură de siliciu pentru cuptor orizontal de la noi.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Barcă de napolitană cu carbură de siliciu acoperită cu SiC

Barca de wafer cu carbură de siliciu acoperit cu SIC este proiectată cu 165 de sloturi pentru a transporta wafers.Vetek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist în China pentru barcă de napolitane cu siliciu acoperit cu SIC, cu ani de experiență în cercetare și dezvoltare, poate controla puțul de calitate și poate oferi un competitiv competitiv preţ. Bine ați venit pentru vizitarea fabricii noastre și purtați discuții suplimentare cu privire la cooperare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Paletă cu cantilever din carbură de siliciu

Paddlever-ul de carbură de siliciu Vetek Semiconductor este o componentă importantă în procesul de fabricație a semiconductorului, în special adecvat pentru cuptoarele de difuzie sau cuptoarele LPCVD în procese de temperatură înaltă, cum ar fi difuzia și RTP. Paleta noastră de carbură de siliciu este proiectată cu atenție și fabricată cu o rezistență excelentă la temperatură ridicată și rezistență mecanică și poate transporta în siguranță și în mod sigur napolitane la tubul de proces în condiții de proces dure pentru diverse procese de temperatură ridicată, cum ar fi difuzia și RTP. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

În calitate de profesionist Cuptor de oxidare și difuzie producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Cuptor de oxidare și difuzie realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Cuptor de oxidare și difuzie

Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

Barcă de napolitană SiC

Tub de proces SIC

Vâslă cantilever SiC

Barcă de napolitană cu carbură de siliciu pentru cuptor orizontal

Barcă de napolitană cu carbură de siliciu acoperită cu SiC

Paletă cu cantilever din carbură de siliciu

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare