Cuptor de oxidare și difuzie

Cuptoarele de oxidare și difuzie sunt utilizate în diverse domenii, cum ar fi dispozitive semiconductoare, dispozitive discrete, dispozitive optoelectronice, dispozitive electronice de putere, celule solare și fabricarea de circuite integrate la scară largă. Ele sunt utilizate pentru procese care includ difuzia, oxidarea, recoacerea, alierea și sinterizarea plachetelor.

VeTek Semiconductor este un producător de frunte specializat în producția de componente de grafit de înaltă puritate, carbură de siliciu și cuarț în cuptoare de oxidare și difuzie. Ne angajăm să furnizăm componente de înaltă calitate pentru cuptoare pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice și suntem în fruntea tehnologiei de acoperire a suprafețelor, cum ar fi CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbon etc.

Avantajele componentelor din carbură de siliciu VeTek Semiconductor:

Rezistență la temperaturi ridicate (până la 1600℃)

Conductivitate termică excelentă și stabilitate termică

Rezistență bună la coroziune chimică

Coeficient scăzut de dilatare termică

Rezistență și duritate ridicată

Durată lungă de viață

În cuptoarele de oxidare și difuzie, datorită prezenței temperaturii înalte și a gazelor corozive, multe componente necesită utilizarea de materiale la temperaturi înalte și rezistente la coroziune, printre care carbura de siliciu (SiC) este o alegere frecvent utilizată. Următoarele sunt componente comune din carbură de siliciu găsite în cuptoarele de oxidare și cuptoarele de difuzie:

Barcă cu napolitană

Barca de napolitană cu carbură de siliciu este un container folosit pentru transportul napolitanelor de siliciu, care poate rezista la temperaturi ridicate și nu va reacționa cu napolitanele de siliciu.

Tubul cuptorului

Tubul cuptorului este componenta centrală a cuptorului de difuzie, utilizată pentru a găzdui vaferele de siliciu și pentru a controla mediul de reacție. Tuburile de cuptor cu carbură de siliciu au performanțe excelente la temperaturi ridicate și rezistență la coroziune.

Deflector

Folosit pentru a regla fluxul de aer și distribuția temperaturii în interiorul cuptorului

Tub de protecție pentru termocuplu

Folosit pentru a proteja termocuplurile de măsurare a temperaturii de contactul direct cu gazele corozive.

Vâslă cantilever

Paletele cantilever din carbură de siliciu sunt rezistente la temperaturi ridicate și la coroziune și sunt folosite pentru a transporta bărci de siliciu sau bărci de cuarț care transportă napolitane de siliciu în tuburile cuptorului de difuzie.

Injector de gaz

Folosit pentru a introduce gaz de reacție în cuptor, trebuie să fie rezistent la temperaturi ridicate și la coroziune.

Cărucior

Suportul pentru barcă de napolitană din carbură de siliciu este utilizat pentru a fixa și susține napolitanele de siliciu, care au avantaje precum rezistența ridicată, rezistența la coroziune și o bună stabilitate structurală.

Ușa cuptorului

Acoperirile sau componentele din carbură de siliciu pot fi utilizate și pe interiorul ușii cuptorului.

Element de încălzire

Elementele de încălzire cu carbură de siliciu sunt potrivite pentru temperaturi ridicate, putere mare și pot crește rapid temperaturile la peste 1000 ℃.

Căptușeală SiC

Folosit pentru a proteja peretele interior al tuburilor cuptorului, poate ajuta la reducerea pierderii de energie termică și poate rezista la medii dure, cum ar fi temperaturile ridicate și presiunea ridicată.