Paleta cantilever din carbură de siliciu (SiC).

Paddle cantilever de carbură de siliciu (SIC) este o componentă cheie indispensabilă în procesul de procesare a plafonului. Este în principal o parte a sistemului de transport al waferului. Întreprinde sarcina importantă de a transporta și transporta napolitane în echipamente, cum ar fi cuptoare de difuzie la oxidare la temperatură ridicată, asigurând concentricitatea plafonului și a tubului cuptorului și îmbunătățirea consistenței și a randamentului procesării napolitanei.

Paleta SiC are o performanță excelentă la temperatură ridicată: în mediul cu temperaturi ridicate de până la 1600 ℃, paleta SiC poate menține în continuare rezistență și stabilitate ridicate, nu se va deforma, nu se va deteriora și nu se va deteriora și poate funcționa stabil pentru o lungă perioadă de timp.

Paleta de cantilever din carbură de siliciu este confecționată dintr-un material SIC de înaltă puritate și nu se vor cădea particule în timpul procesării plafonului, evitând contaminarea suprafeței de placă. Materialul din carbură de siliciu are o rezistență ridicată la îndoire și poate rezista la un stres mai mare atunci când transportați mai multe napolitane și nu este predispus la rupere, asigurând siguranța și stabilitatea procesului de transmisie a plafonului. Stabilitatea chimică excelentă a SiC ajută la paleta SIC Cantilever să reziste la coroziunea de la diverse substanțe chimice și gaze, împiedică impuritățile să contamineze placa din cauza coroziunii materialelor și prelungește durata de viață a produsului.

SIC Cantilever Paddle Diagrama de lucru

Specificatiile produsului

● Diverse dimensiuni: Oferim palete Cantilever din carbură de siliciu (SiC) de diferite dimensiuni pentru a satisface nevoile diferitelor tipuri de echipamente semiconductoare și procesare a plachetelor de diferite dimensiuni.

●  Serviciu personalizat: Pe lângă produsele de specificații standard, putem crea și soluții exclusive pentru clienți în funcție de cerințele lor speciale, cum ar fi dimensiunea specifică, forma, capacitatea de încărcare etc.

●  Design de modelare dintr-o bucată: Este de obicei fabricat folosind un proces de modelare dintr-o bucată, inclusiv secțiunea de conectare, secțiunea de tranziție și secțiunea rulment. Piesele sunt strâns conectate și au o integritate puternică, ceea ce îmbunătățește eficient rezistența structurală și stabilitatea produsului și reduce riscul de eșec cauzat de piese de conectare slabe.

●  Structura armată: Unele produse sunt echipate cu structuri de armare în părți cheie, cum ar fi secțiunea de tranziție, cum ar fi placa inferioară, placa de presiune, tija de legătură etc., ceea ce îmbunătățește și mai mult rezistența conexiunii dintre secțiunea de tranziție și secțiunea de legătură și secțiunea de lagăr. , îmbunătățește fiabilitatea paletei în consolă SiC de înaltă puritate atunci când transportați napolitana și previne probleme precum fractura în zona de tranziție.

●  Proiectare specială a zonei de rulment: Proiectarea zonei de rulment ia în considerare pe deplin plasarea și transferul de căldură al plafonului. Unele produse sunt echipate cu caneluri în formă de U, găuri cu bandă lungă, găuri dreptunghiulare și alte structuri în zona rulmentului, ceea ce nu numai că reduce greutatea zonei rulmentului în sine, dar reduce și zona de contact cu placa pentru a evita blocarea căldurii. În același timp, poate asigura, de asemenea, stabilitatea plafonului în timpul transmisiei și poate împiedica să cadă placa.

Proprietăți fizice ale carburii de siliciu recristalizate ：

În timpul procesului de producție, fiecare paletă de carbură de siliciu (SIC) trebuie să sufere inspecții stricte de calitate, inclusiv inspecția de precizie dimensională, inspecția aspectului, testarea proprietății fizice, testarea stabilității chimice etc. Cerințele stricte ale procesării plafonului cu semiconductor.

Semiconductoroferă o gamă completă de servicii post-vânzare. Dacă clienții întâmpină probleme în timpul utilizării, echipa profesionistă de post-vânzare va răspunde în timp util și va oferi clienților soluții rapide și eficiente pentru a se asigura că producția clienților nu este afectată.

SemiconductorMagazine de producție de palete cantilever SiC de înaltă puritate: