Produse

Procesul de epitaxie SiC

Acoperirile unice de carbură de la VeTek Semiconductor oferă o protecție superioară pieselor din grafit în procesul de epitaxie SiC pentru procesarea materialelor semiconductoare și semiconductoare compozite solicitante. Rezultatul este prelungirea duratei de viață a componentei de grafit, păstrarea stoichiometriei reacției, inhibarea migrării impurităților către aplicații de epitaxie și creștere a cristalelor, ceea ce duce la creșterea randamentului și a calității.


Acoperirile noastre cu carbură de tantal (TaC) protejează componentele critice ale cuptorului și reactorului la temperaturi ridicate (până la 2200°C) de amoniacul fierbinte, hidrogenul, vaporii de siliciu și metalele topite. VeTek Semiconductor are o gamă largă de capabilități de procesare și măsurare a grafitului pentru a satisface cerințele dvs. personalizate, astfel încât să vă putem oferi o acoperire contra cost sau servicii complete, cu echipa noastră de ingineri experți gata să proiecteze soluția potrivită pentru dvs. și aplicația dvs. specifică .


Cristale semiconductoare compuse

VeTek Semiconductor poate oferi acoperiri speciale TaC pentru diferite componente și suporturi. Prin procesul de acoperire lider în industrie VeTek Semiconductor, acoperirea TaC poate obține puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și rezistență chimică ridicată, îmbunătățind astfel calitatea produsului a straturilor de cristal TaC/GaN) și EPl și prelungind durata de viață a componentelor critice ale reactorului.


Izolatoare termice

Componente de creștere a cristalelor SiC, GaN și AlN, inclusiv creuzete, suporturi pentru semințe, deflectoare și filtre. Ansambluri industriale, inclusiv elemente de încălzire rezistive, duze, inele de ecranare și dispozitive de lipire, componente ale reactoarelor CVD epitaxiale GaN și SiC, inclusiv suporturi de placă, tăvi satelit, capete de duș, capace și piedestale, componente MOCVD.


Scop:

 ● LED (diodă emițătoare de lumină) Wafer Carrier

● Receptor ALD(Semiconductor).

● Receptor EPI (Procesul de epitaxie SiC)


Comparație dintre acoperirea SiC și acoperirea TaC:

Sic TaC
Caracteristici principale Puritate ultra înaltă, rezistență excelentă la plasmă Stabilitate excelentă la temperaturi înalte (conformitatea procesului la temperatură înaltă)
Puritate >99,9999% >99,9999%
Densitate (g/cm3) 3.21 15
Duritate (kg/mm2) 2900-3300 6,7-7,2
Rezistivitate [Ωcm] 0,1-15.000 <1
Conductivitate termică (W/m-K) 200-360 22
Coeficientul de dilatare termică (10-6/℃) 4,5-5 6.3
Aplicație Echipament cu semiconductori Jig din ceramică (inel de focalizare, cap de duș, napolitană falsă) Creștere monocristal SiC, Piese de echipamente Epi, UV LED


View as  
 
Purtător de wafer epitaxie din siliciu

Purtător de wafer epitaxie din siliciu

Vetek Semiconductor este un principal furnizor de transportatori de wafer din carbură de siliciu personalizat din China. Am fost specializați în materiale avansate mai mult de 20 de ani. Oferim un purtător de epitaxie de epitaxie din siliciu pentru transportul substratului SIC, creșterea stratului de epitaxie SIC în reactorul epitaxial sic. Acest purtător de placă de epitaxie din carbură de siliciu este o parte importantă acoperită cu SIC din partea de jumătate de lună, rezistență la temperatură ridicată, rezistență la oxidare, rezistență la uzură. Vă întâmpinăm să vizitați fabrica noastră din China. Bine ați venit să consultați în orice moment.
Capac de acoperire cu carbură tantalum

Capac de acoperire cu carbură tantalum

Capacul de acoperire a carburii de tantalum este compus din grafit de înaltă puritate și acoperire TAC. Vetek Semiconductor este un furnizor de frunte și producător de acoperire de acoperire a carburilor de tantalum în China. Ne concentrăm pe furnizarea de produse de carbură de tantalum rezistent la temperatură ridicată. Capacul nostru acoperit cu carbură de tantal are performanțe și fiabilitate excelente și poate proteja eficient materialele în medii extrem de ridicate la temperaturi și corozive. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China. Bine ați venit să consultați în orice moment.
Inel deflector acoperit cu TAC

Inel deflector acoperit cu TAC

Inelul deflector acoperit TAC de la Vetek Semiconductor este o componentă extrem de specializată, concepută pentru procesele de creștere a cristalelor SIC. Acoperirea TAC oferă o rezistență excelentă la temperatură ridicată și o inerție chimică pentru a face față temperaturilor ridicate și mediilor corozive în timpul procesului de creștere a cristalului. Acest lucru asigură performanța stabilă și durata de viață lungă a componentei, reducând frecvența de înlocuire și de oprire. Ne-am angajat să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dvs. pe termen lung în China. Bine ați venit să consultați în orice moment.
Inel acoperit cu TAC pentru reactorul epitaxial SIC

Inel acoperit cu TAC pentru reactorul epitaxial SIC

VeTek Semiconductor este un producător de frunte și inovator tehnologic al inelului acoperit cu TaC pentru reactorul epitaxial SiC în China, concentrându-se pe furnizarea de soluții de înaltă performanță pentru reactoarele epitaxiale SiC. Avem mulți ani de experiență în tehnologia de acoperire TaC. Inelul acoperit cu TaC are caracteristicile de puritate ridicată, stabilitate ridicată, rezistență excelentă la coroziune etc. și poate oferi performanțe stabile pe termen lung în mediul dur de lucru al reactoarelor epitaxiale. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim un parteneriat strategic pe termen lung cu dumneavoastră.
Piesă semilună acoperită cu carbură de tantal pentru LPE

Piesă semilună acoperită cu carbură de tantal pentru LPE

VeTek Semiconductor este un furnizor principal de piese semilună acoperite cu carbură de tantal pentru LPE în China, concentrându-se pe tehnologia de acoperire TaC de mulți ani. Piesa noastră semilună acoperită cu carbură de tantal pentru LPE este proiectată pentru procesul de epitaxie în fază lichidă și poate rezista la temperaturi ridicate de peste 2000 de grade Celsius. Cu o performanță excelentă a materialelor și inovare în proces, viața produsului nostru este la cel mai bun nivel din industrie. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să fie partenerul tău pe termen lung în China.
Disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal

Disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor de lider de disc de rotație planetară acoperită cu carbură de tantalum în China, concentrându -se pe tehnologia de acoperire TAC timp de mai mulți ani. Produsele noastre au o puritate ridicată și o rezistență excelentă la temperatură ridicată, care sunt recunoscute pe scară largă de producătorii de semiconductori. Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Rotatary Disc Planetary a devenit coloana vertebrală a industriei epitaxiei Wafer. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim un parteneriat pe termen lung cu dvs. pentru a promova în comun progresul tehnologic și optimizarea producției.
În calitate de profesionist Procesul de epitaxie SiC producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Procesul de epitaxie SiC realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept