Cod QR
 
                    Despre noi
Produse
Contactaţi-ne
 - Telefon
 - Fax- +86-579-87223657 
 - E-mail
 - Abordare- Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China 
 
            VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.
		
	
VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în lot și cerințele LPCVD, inclusiv:
• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale
		
	
		  Vâslă cantilever SiC
 Vâslă cantilever SiC    Tuburi de proces SiC
 Tuburi de proces SiC    Tub de proces cu carbură de siliciu
 Tub de proces cu carbură de siliciu    Barcă cu napolitană verticală SiC
 Barcă cu napolitană verticală SiC    Barcă de napolitană orizontală SiC
 Barcă de napolitană orizontală SiC    SiC orizontale quare napolitana barca
 SiC orizontale quare napolitana barca    Barcă de napolitană SiC LPCVD
 Barcă de napolitană SiC LPCVD    Barcă cu plăci orizontale SiC
 Barcă cu plăci orizontale SiC    Inel de etanșare din ceramică SiC
 Inel de etanșare din ceramică SiC  
	
		
	
Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate concepute pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:
Inele de focalizare
Duze
Scuturi
Capete de duș
Ferestre / Capaci
Alte componente personalizate
				 
 
			
		
	
VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.
• Difuzoare
• Izolatoare
• Susceptori
• Alte componente termice personalizate
				 
 
			
		
	
| Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
| Proprietate | Valoare tipică | 
| Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) | 
| Conținut de SiC / SiC | > 99,96% | 
| Conținut Si / Free Si | < 0,1% | 
| Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 | 
| Porozitate aparentă | < 16% | 
| Rezistența la compresiune | > 600 MPa | 
| Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) | 
| Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) | 
| Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C | 
| Conductivitate termică @1200°C | 23 W/m•K | 
| Modulul elastic | 240 GPa | 
| Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine | 
		
	






 
                    

+86-579-87223657


Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China
Copyright © 2024 VeTek Semiconductor Technology Co., Ltd. Toate drepturile rezervate.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |
