Ceramica din carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.

DIFUZIA & PRELUCRARE LPCVD

VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în lot și cerințele LPCVD, inclusiv:

• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale

Vâslă cantilever SiC Tuburi de proces SiC Tub de proces cu carbură de siliciu Barcă cu napolitană verticală SiC Barcă de napolitană orizontală SiC SiC orizontale quare napolitana barca Barcă de napolitană SiC LPCVD Barcă cu plăci orizontale SiC Inel de etanșare din ceramică SiC

COMPONENTELE PROCESULUI DE GRAVARE

Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate concepute pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:

PRELUCRARE TERMICA RAPIDĂ ȘI COMPONENTE DE PROCES EPITAXIAL

VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.