Produse

Ceramica din carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.


DIFUZIA & PRELUCRARE LPCVD

VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în lot și cerințele LPCVD, inclusiv:

• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale


COMPONENTELE PROCESULUI DE GRAVARE

Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate concepute pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:

Inele de focalizare

Duze

Scuturi

Capete de duș

Ferestre / Capaci

Alte componente personalizate


PRELUCRARE TERMICA RAPIDĂ ȘI COMPONENTE DE PROCES EPITAXIAL

VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.

• Difuzoare

• Izolatoare

• Susceptori

• Alte componente termice personalizate


Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate
Proprietate Valoare tipică
Temperatura de lucru (°C) 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere)
Conținut de SiC / SiC > 99,96%
Conținut Si / Free Si < 0,1%
Densitate în vrac 2,60-2,70 g/cm3
Porozitate aparentă < 16%
Rezistența la compresiune > 600 MPa
Rezistența la îndoire la rece 80-90 MPa (20°C)
Rezistența la îndoire la cald 90-100 MPa (1400°C)
Expansiune termică la 1500°C 4,70 10-6/°C
Conductivitate termică @1200°C 23  W/m•K
Modulul elastic 240 GPa
Rezistenta la socuri termice Extrem de bine


View as  
 
Vâslă cantilever SiC

Vâslă cantilever SiC

Paleta Cantilever SiC de la VeTek Semiconductor este utilizată în cuptoarele de tratament termic pentru manipularea și susținerea bărcilor napolitane. Stabilitatea la temperaturi ridicate și conductivitatea termică ridicată a materialului SiC asigură eficiență și fiabilitate ridicate în procesul de procesare a semiconductorilor. Ne angajăm să oferim produse de înaltă calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Barcă de napolitană cu carbură de siliciu pentru cuptor orizontal

Barcă de napolitană cu carbură de siliciu pentru cuptor orizontal

Barca de napolitană SiC are cerințe ridicate în puritatea materialului. Vetek Semiconductor furnizează puritate SiC >99,96% SiC recristalizat la acest produs. producția, poate controla bine calitatea și poate oferi un preț competitiv. Puteți fi siguri că cumpărați barca napolitană cu carbură de siliciu pentru cuptor orizontal de la noi.
Barcă de napolitană cu carbură de siliciu acoperită cu SiC

Barcă de napolitană cu carbură de siliciu acoperită cu SiC

Barca de wafer cu carbură de siliciu acoperit cu SIC este proiectată cu 165 de sloturi pentru a transporta wafers.Vetek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist în China pentru barcă de napolitane cu siliciu acoperit cu SIC, cu ani de experiență în cercetare și dezvoltare, poate controla puțul de calitate și poate oferi un competitiv competitiv preţ. Bine ați venit pentru vizitarea fabricii noastre și purtați discuții suplimentare cu privire la cooperare.
Paletă cu cantilever din carbură de siliciu

Paletă cu cantilever din carbură de siliciu

Paddlever-ul de carbură de siliciu Vetek Semiconductor este o componentă importantă în procesul de fabricație a semiconductorului, în special adecvat pentru cuptoarele de difuzie sau cuptoarele LPCVD în procese de temperatură înaltă, cum ar fi difuzia și RTP. Paleta noastră de carbură de siliciu este proiectată cu atenție și fabricată cu o rezistență excelentă la temperatură ridicată și rezistență mecanică și poate transporta în siguranță și în mod sigur napolitane la tubul de proces în condiții de proces dure pentru diverse procese de temperatură ridicată, cum ar fi difuzia și RTP. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China.
Transportator de placă de carbură de siliciu ridicat

Transportator de placă de carbură de siliciu ridicat

Vetek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Carrier este componente importante în procesarea semiconductorului, concepute pentru a deține în siguranță și a transporta napolitane delicate de siliciu, jucând un rol cheie în toate etapele producției. Transportatorul de napolitane cu carbură de siliciu pur Vetek Semiconductor sunt proiectate și fabricate cu atenție pentru a asigura performanțe și fiabilitate excelente. Vetek Semiconductor se angajează să furnizeze produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dvs. pe termen lung în China.
Barcă cu placă de carbură de siliciu

Barcă cu placă de carbură de siliciu

Barca de napolitane de siliciu de înaltă puritate din Vetek Semiconductor este confecționată dintr-un material de carbură de siliciu extrem de pur, cu o stabilitate termică excelentă, rezistență mecanică și rezistență chimică. Barca de napolitane cu carbură de siliciu de înaltă puritate este utilizată în aplicațiile din zona caldă la fabricarea semiconductorilor, în special în medii la temperaturi înalte și joacă un rol important în protejarea napolitanelor, transportul materialelor și menținerea proceselor stabile. Vetek Semiconductor va continua să muncească din greu pentru a inova și pentru a îmbunătăți performanța bărcii de placă din carbură de siliciu de înaltă puritate pentru a răspunde nevoilor în evoluție ale producției de semiconductori. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China.
În calitate de profesionist Ceramica din carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Ceramica din carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept