Barca de wafer din carbură de siliciu

Veteksemicon Sic Wafer Boat este un transportator de bază conceput special pentru procesele semiconductoare la temperaturi ridicate. Folosind grafitul presat izostatic ca substrat, acest produs folosește tehnologia brevetată de depunere a vaporilor chimici pentru a forma un strat de protecție densă, non-poroasă a carburii de siliciu la suprafață.

Acest strat combină perfect conductivitatea termică excelentă a grafitului cu rezistența excepțională de coroziune a carburii de siliciu. Acoperirea controlată riguros atinge o grosime de 80-120 μm, rezistând efectiv la coroziune din diferite atmosfere acide și alcaline, reducând semnificativ riscul de contaminare cu metal. Menține stabilitatea structurală și integritatea dimensională chiar și în medii la temperaturi înalte, oferind o protecție și sprijin fiabil pentru napolitane în timpul proceselor critice, cum ar fi oxidarea, difuzarea și creșterea epitaxială, extinzând efectiv durata de viață a waferului cu mai mult de trei ori mai mare decât cea a bărcilor convenționale de grafit.

Ⅰ. Parametri tehnici

Ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Avantaje de bază

• Rezistență excelentă la coroziune

Acoperirea SIC de pe barca de placă Veteksemicon este depusă folosind procesul nostru de CVD de temperatură ridicată, rezultând o structură densă, uniformă, care este complet lipsită de pori și fisuri. Această barieră solidă izolează efectiv napolitarii de mediul cuptorului. Atmosferele puternice de oxidare, compuși fluoruși și alte gaze corozive sunt impermeabile pentru acest strat de protecție. Aceasta înseamnă că napolitane sunt protejate de contaminare, în timp ce barca în sine rămâne intactă prin procese extreme repetate, extinzându -și semnificativ durata de viață.

• Materiale de puritate ultra-înaltă

Înțelegem că chiar și cea mai mică contaminare poate face inutil un lot întreg de napolitane. Prin urmare, Veteksemicon controlează riguros materiile prime, folosind grafitul presat izostatic importat, cu o puritate care depășește 99,9995% ca substrat. Acoperirea SIC depusă pe acest substrat atinge, de asemenea, 99,999% puritate, cu impurități critice precum sodiu, potasiu, fier și metale grele menținute la niveluri extrem de scăzute (PPB). Această puritate aproape intrinsecă asigură eliberarea contaminanților la temperaturi ridicate, eliminând fundamental riscul degradării performanței dispozitivului din cauza problemelor legate de transportator.

• Stabilitate termică excelentă

Fabricarea semiconductorilor necesită procese termice extrem de consistente. Coeficientul de expansiune termică al Veteksemicon Wafer Boat este conceput meticulos pentru a se potrivi îndeaproape cu cea a napolitanelor de siliciu. În timpul încălzirii și răcirii rapide, barca și placa se mișcă în sincronizare, reducând semnificativ riscul de defecte de zăpadă și deformare cauzată de stresul termic. Poate rezista la temperaturi de funcționare continuă până la 1600 ℃, menținând o rezistență mecanică excelentă și o stabilitate dimensională chiar și la aceste temperaturi ridicate. Acest lucru asigură repetabilitatea și fiabilitatea în fiecare proces, oferind o bază solidă pentru controlul toleranței în fabricarea cipurilor.

• Rezistență mecanică durabilă

Valoarea produselor noastre se află nu numai în investiția inițială, ci și în costul de proprietate pe termen lung. În comparație cu componentele tradiționale de cuarț sau grafit, bărcile veteksemicon sic wafer oferă o rezistență excepțională de uzură și impact. Duritatea lor mare de suprafață rezistă la zgârieturi și resturi în timpul manipulării și curățării. Această duritate le permite să reziste cu ușurință peste 200 de cicluri de proces la temperaturi ridicate și proceduri de curățare necesare, reducând semnificativ costurile de achiziții, costurile de inventar și timpul de oprire a echipamentelor asociate cu înlocuirea frecventă a componentelor.

• Aprobarea ecologică a lanțului

Veteksemicon Sic Wafer Boat 'Verificarea ecologică a lanțului acoperă materiile prime pentru producție, a trecut certificarea standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a -și asigura fiabilitatea și durabilitatea în domeniul semiconductorului și al noilor câmpuri energetice.

Ⅲ. Câmpuri principale de aplicații

Pentru specificații tehnice detaliate, cărți albe sau aranjamente de testare a eșantionului, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Veteksemicon vă poate îmbunătăți eficiența procesului.

Depozit de produse Veteksemicon