Cap de duș în formă de disc sic solid

Rolul capului de duș în formă de disc SIC solid în procesul de CVD este de a distribui uniform gazul de reacție deasupra zonei de depunere, astfel încât gazul să poată fi difuzat uniform în întregul reactor pentru a obține o peliculă plană și uniformă.

Capul solid de duș SIC este așezat în partea de sus a cuptorului CVD sau în apropierea intrării gazului. Gazul de reacție intră în structura în formă de disc prin găurile distribuite pe capul de duș și se difuzează de-a lungul suprafeței capului de duș. Prin proiectarea multiplelor canale și prin prizele distribuite uniform, gazul de reacție poate curge uniform în întreaga zonă a reactorului, evitând concentrația sau turbulența și asigurând consistența grosimii stratului depuse pe substrat.

În același timp, structura capului de duș cu formă de disc semiconductor are, de asemenea, un efect de difuzie, care poate reduce eficient debitul gazului, astfel încât să poată fi difuzată uniform la ieșirea duzei și să reducă impactul modificărilor de flux de gaze locale asupra efectului de depunere. Ajută la evitarea impactului direct al gazelor asupra substratului și la prevenirea problemei depunerii inegale.

Din perspectiva materialelor, capul de duș cu gaz solid SiC este confecționat din material SIC solid rezistent la coroziune, rezistent la coroziune și cu rezistență ridicată, cu o stabilitate foarte mare. Poate funcționa stabil pentru o lungă perioadă de timp în cuptorul CVD și are o viață lungă de serviciu.

Vetek Semiconductor oferă servicii personalizate de înaltă calitate. Forma și dispunerea găurii capului de duș în formă de disc SID solid poate fi ajustat flexibil în funcție de cerințele procesului clientului pentru a se adapta la diferite tipuri de gaze, debituri și materiale de depunere. Pentru diferite dimensiuni de reactoare sau dimensiuni de substrat, capetele de duș în formă de disc cu diametre diferite și distribuții de găuri pot fi personalizate pentru a optimiza efectul de distribuție a gazelor.

Vetek Semiconductor are procese mature și tehnologii avansate pentru produsele solide de duș cu semiconductor SIC, ajutând un număr mare de clienți să obțină progrese continue în procesele CVD. Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul dvs. pe termen lung în China.

Proprietăți fizice ale sicului solid

SemiconductorMagazine solide de producție de duș în formă de disc sic