Încălzitor de acoperire TAC

Încălzitorul de acoperire TaC este un element de încălzire de înaltă performanță utilizat pe scară largă în procesele de fabricație a semiconductoarelor. Suprafața sa este acoperită cu material de carbură de tantal (TaC), ceea ce conferă încălzitorului o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune chimică și o conductivitate termică excelentă.

Principalele aplicații ale încălzitorului de acoperire TAC în fabricarea semiconductorilor includ:

 ✔ În timpul procesului de creștere epitaxială cu nitrură de galiu (GaN), încălzitorul de acoperire TaC oferă un mediu de temperatură ridicată controlat cu precizie pentru a se asigura că stratul epitaxial este depus pe substrat la o rată uniformă și de înaltă calitate. Puterea de căldură stabilă ajută la obținerea unui control precis al materialelor cu film subțire, îmbunătățind astfel performanța dispozitivului.

 ✔ Mai mult decât atât, în procesul de depunere de vapori chimici organici metalici (MOCVD), combinat cu rezistența la temperatură ridicată și conductivitatea termică a acoperirii TAC, încălzitorul de acoperire TAC este de obicei utilizat pentru a încălzi gazul de reacție și, prin furnizarea de distribuție uniformă a căldurii, acesta este Promovează reacția sa chimică pe suprafața substratului, îmbunătățind astfel uniformitatea stratului epitaxial și formând un film de înaltă calitate.

 ✔ În calitate de lider al industriei în produsele de încălzire TAC, Vetek Semiconducto acceptă întotdeauna serviciile de personalizare a produselor și prețurile satisfăcătoare ale produselor. Indiferent care sunt cerințele dvs. specifice, vom potrivi cea mai bună soluție pentru nevoile dvs. de încălzire de acoperire TAC și așteptăm cu nerăbdare consultarea dvs. în orice moment.