Suport pentru napolitană pentru VEECO MOCVD (LED Epitaxie)

Caracteristicile produsului:

1. Bază de grafit de înaltă puritate cu un strat dens CVD SiC
2. O uniformitate termică bună pentru epitaxie LED stabilă
3. Rezistă la NH₃, HCl și alte gaze corozive utilizate în proces
4. Deversare redusă de particule și durată lungă de viață
5. Modelele de buzunar pot fi personalizate pentru diferite dimensiuni de plachete și platforme de reactoare
6. Funcționează bine pentru funcționarea MOCVD pe termen lung, la temperatură înaltă

Aplicatii:
Acești purtători de napolitane sunt utilizați pe scară largă în epitaxia LED și semiconductoare compuse, inclusiv:

• GaN LED epitaxie
• Epitaxie LED albastru-verde
• Creștere profundă a LED-urilor UV
• Epitaxie GaN pe bază de Si
• Fabricarea generală a semiconductoarelor compuse

Soluțiile de transport personalizate se potrivesc cu mai multe platforme LED MOCVD, cum ar fi:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Avantaje tehnice:

1. Acoperire CVD SiCtehnologie care vă oferă densitate și puritate bună
2. Variația grosimii stratului de acoperire menținută la ±10 μm - ajută la menținerea stabilă a performanței termice
3. Prelucrare CNC cu o precizie de până la 3 μm pentru o bună potrivire și stabilitate la rotație
4. Acoperirea se lipește bine și rezistă la crăpare după cicluri repetate MOCVD la temperatură ridicată
5. Se ocupă fără probleme de NH₃, HCl și alte medii dure de epitaxie
6. Generare redusă de particule și suprafață curată pentru a susține un randament ridicatEpitaxie LED
7. Poate acoperi dimensiuni mari sau personalizate pentru diferite platforme de reactoare și modele de plachete
8. Experiență îndelungată cugrafit personalizat și piese acoperite cu SiCpentru LED și epitaxie semiconductoare compusă

FAQ:
1. Ce face un purtător de napolitaneMOCVDEpitaxie LED?

R: Ține și rotește napolitanele în interiorul reactorului MOCVD și ajută la menținerea temperaturii stabile în timpul creșterii epitaxiale.

2. De ce să folosiți suporturi de placă de grafit acoperite cu SiC pentru MOCVD?

A: TheAcoperire CVD SiCoferă o mai bună rezistență la coroziune, stabilitate termică și durabilitate. De asemenea, ajută la reducerea contaminării cu particule în epitaxie la temperatură ridicată.

3. Vetek Semiconductor produce suporturi de napolitane personalizate?
A: Da. Putem proiecta suporturi personalizate în funcție de platforma reactorului, dimensiunea plachetei, aspectul buzunarului și alte nevoi ale procesului.