Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Inel de ghid acoperit TAC

Inelul de ghidare acoperit TAC este realizat din grafit de înaltă calitate și acoperire TAC. În prepararea cristalelor SIC prin metoda PVT, inelul de ghidare acoperit TAC al Vetek Semiconductor este utilizat în principal pentru a ghida și controla fluxul de aer, pentru a optimiza procesul de creștere a cristalului unic și pentru a îmbunătăți randamentul cu un singur cristal. Cu o tehnologie excelentă de acoperire TAC, produsele noastre au o rezistență excelentă la temperatură ridicată, rezistență la coroziune și proprietăți mecanice bune.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor de lider de disc de rotație planetară acoperită cu carbură de tantalum în China, concentrându -se pe tehnologia de acoperire TAC timp de mai mulți ani. Produsele noastre au o puritate ridicată și o rezistență excelentă la temperatură ridicată, care sunt recunoscute pe scară largă de producătorii de semiconductori. Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Rotatary Disc Planetary a devenit coloana vertebrală a industriei epitaxiei Wafer. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim un parteneriat pe termen lung cu dvs. pentru a promova în comun progresul tehnologic și optimizarea producției.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Transportator de placă de grafit acoperit cu TAC

VeTek Semiconductor a proiectat cu atenție suportul pentru napolitane de grafit acoperit cu TaC pentru clienți. Este compus din grafit de înaltă puritate și acoperire TaC, care este potrivită pentru diferite procesări de napolitane epitaxiale. De mulți ani suntem specializați în acoperirea cu SiC și TaC. În comparație cu acoperirea SiC, suportul nostru de napolitană de grafit acoperit cu TaC are o rezistență mai mare la temperatură și rezistent la uzură. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Inel de ghid acoperit TAC

Disc de rotație planetară acoperit cu carbură de tantal

Transportator de placă de grafit acoperit cu TAC

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare