Produse

Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.


Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.


Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:


Excellent properties of TaC coating graphite


Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.


Caracteristici cheie:

 ●Stabilitatea temperaturii

 ●Puritate ultra înaltă

 ●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

 ●Rezistenta la stoc termic

 ●Aderență puternică la grafit

 ●Acoperire de acoperire conformă

 Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)


Aplicații:

 ●Purtător de napolitane

 ● Susceptor de încălzire inductiv

 ● Element de încălzire rezistiv

 ●Disc satelit

 ●Cap de dus

 ●Inel de ghidare

 ●Receptor LED Epi

 ●Duza de injectie

 ●Inel de mascare

 ● Scut termic


Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate 14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică 0.3
Coeficientul de dilatare termică 6.3 10-6/K
Duritate (HK) 2000 HK
Rezistenţă 1×10-5Ohm*cm
Stabilitate termică <2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică -10~-20um
Grosimea acoperirii ≥20um valoare tipică (35um±10um)


Date EDX de acoperire TaC

EDX data of TaC coating


Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element Procent atomic
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Medie
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Inel de acoperire CVD TAC

Inel de acoperire CVD TAC

În industria semiconductorilor, inelul de acoperire CVD TAC este o componentă extrem de avantajoasă concepută pentru a satisface cerințele solicitante ale proceselor de creștere a cristalelor din carbură de siliciu (SIC). Inelul de acoperire CVD TAC de la Vetek Semiconductor oferă o rezistență deosebită la temperatură ridicată și o inerție chimică, ceea ce îl face o alegere ideală pentru mediile caracterizate de temperaturi ridicate și condiții corozive. PLS nu ezitați să ne contactați pentru mai multe întrebări.
Lpe sic epi halfmoon

Lpe sic epi halfmoon

LPE SIC EPI Halfmoon este un design special pentru cuptorul de epitaxie orizonațională, un produs revoluționar conceput pentru a ridica procesele de epitaxie reactor LPE. Această soluție de ultimă oră are mai multe caracteristici cheie care asigură performanțe și eficiență superioare pe parcursul operațiunilor dvs. de fabricație.Vetek Semiconductor este profesionist la fabricarea LPE SIC EPI Halfmoon în 6 inch, 8inch. Privind înainte să creezi o cooperare pe termen lung cu tine.
Condus Epi

Condus Epi

Vetek Semiconductor este un furnizor principal de acoperiri TAC și piese de grafit de acoperire SIC. Suntem specializați în producerea de susceptitori EPI LED de ultimă oră, esențiali pentru procesele de epitaxie LED. Aștept cu nerăbdare consultarea dvs. ulterioară.
Susceptor MOCVD cu acoperire TaC

Susceptor MOCVD cu acoperire TaC

Vetek Semiconductor este un furnizor cuprinzător implicat în cercetare, dezvoltare, producție, proiectare și vânzări de acoperiri TAC și piese de acoperire SIC. Experiența noastră constă în producerea susceptitorului MOCVD de ultimă generație cu acoperire TAC, care joacă un rol vital în procesul de epitaxie LED. Vă întâmpinăm să discutați cu noi întrebări și informații suplimentare.
Susceptor LED UV acoperit cu TAC

Susceptor LED UV acoperit cu TAC

Acoperirea TAC este o acoperire pentru o nouă generație pentru a se dezvolta pentru ansamblu. Vetek Semiconductor este un furnizor integrat angajat în cercetare și dezvoltare, producție, proiectare și vânzări de acoperiri TAC. Suntem specializați în fabricarea de susceptitori cu LED-uri UV acoperite cu TAC, care sunt componente cruciale în procesul de epitaxie LED. Susceptatorul nostru cu LED -uri UV acoperite cu TAC oferă o conductivitate termică ridicată, rezistență mecanică ridicată, eficiență îmbunătățită a producției și protecție epitaxială a plafonului. Bine ați venit la întrebarea noastră.
Tantalum carbură tac acoperită cu jumătate de lună

Tantalum carbură tac acoperită cu jumătate de lună

Piesele Halfmoon acoperite cu acoperire CVD TaC, sunt mai durabile decât piesele semilună acoperite cu SiC. preţ. Sunteți binevenit să vizitați fabrica noastră pentru discuții suplimentare despre o cooperare pe termen lung.
În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept