Produse

Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.


Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.


Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:


Excellent properties of TaC coating graphite


Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.


Caracteristici cheie:

 ●Stabilitatea temperaturii

 ●Puritate ultra înaltă

 ●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

 ●Rezistenta la stoc termic

 ●Aderență puternică la grafit

 ●Acoperire de acoperire conformă

 Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)


Aplicații:

 ●Purtător de napolitane

 ● Susceptor de încălzire inductiv

 ● Element de încălzire rezistiv

 ●Disc satelit

 ●Cap de dus

 ●Inel de ghidare

 ●Receptor LED Epi

 ●Duza de injectie

 ●Inel de mascare

 ● Scut termic


Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate 14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică 0.3
Coeficientul de dilatare termică 6.3 10-6/K
Duritate (HK) 2000 HK
Rezistenţă 1×10-5Ohm*cm
Stabilitate termică <2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică -10~-20um
Grosimea acoperirii ≥20um valoare tipică (35um±10um)


Date EDX de acoperire TaC

EDX data of TaC coating


Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element Procent atomic
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Medie
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Grafit poros cu TAC acoperit

Grafit poros cu TAC acoperit

Grafitul poros cu TAC acoperit este un material avansat de procesare a semiconductorului furnizat de Vetek Semiconductor. Grafitul poros cu acoperire TAC combină avantajele acoperirii poroase de grafit și carbură de tantal (TAC), cu o bună conductivitate termică și permeabilitate a gazelor. Vetek Semiconductor se angajează să furnizeze produse de calitate la prețuri competitive.
Capac de acoperire cu carbură tantalum

Capac de acoperire cu carbură tantalum

Capacul de acoperire a carburii de tantalum este compus din grafit de înaltă puritate și acoperire TAC. Vetek Semiconductor este un furnizor de frunte și producător de acoperire de acoperire a carburilor de tantalum în China. Ne concentrăm pe furnizarea de produse de carbură de tantalum rezistent la temperatură ridicată. Capacul nostru acoperit cu carbură de tantal are performanțe și fiabilitate excelente și poate proteja eficient materialele în medii extrem de ridicate la temperaturi și corozive. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China. Bine ați venit să consultați în orice moment.
Inel deflector acoperit cu TAC

Inel deflector acoperit cu TAC

Inelul deflector acoperit TAC de la Vetek Semiconductor este o componentă extrem de specializată, concepută pentru procesele de creștere a cristalelor SIC. Acoperirea TAC oferă o rezistență excelentă la temperatură ridicată și o inerție chimică pentru a face față temperaturilor ridicate și mediilor corozive în timpul procesului de creștere a cristalului. Acest lucru asigură performanța stabilă și durata de viață lungă a componentei, reducând frecvența de înlocuire și de oprire. Ne-am angajat să oferim produse de calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dvs. pe termen lung în China. Bine ați venit să consultați în orice moment.
Tub acoperit cu carbură tantal pentru creșterea cristalului

Tub acoperit cu carbură tantal pentru creșterea cristalului

Tubul acoperit cu carbură de tantal pentru creșterea cristalului este utilizat în principal în procesul de creștere a cristalului SIC. Vetek Semiconductor furnizează tub acoperit cu carbură de tantal pentru creșterea cristalului de mai mulți ani și lucrează în domeniul acoperirii TAC de mai mulți ani. Produsele noastre au o rezistență ridicată la puritate și la temperatură ridicată. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. pe termen lung în China. Simțiți -vă liber să ne întrebați.
Inel acoperit cu TAC pentru reactorul epitaxial SIC

Inel acoperit cu TAC pentru reactorul epitaxial SIC

VeTek Semiconductor este un producător de frunte și inovator tehnologic al inelului acoperit cu TaC pentru reactorul epitaxial SiC în China, concentrându-se pe furnizarea de soluții de înaltă performanță pentru reactoarele epitaxiale SiC. Avem mulți ani de experiență în tehnologia de acoperire TaC. Inelul acoperit cu TaC are caracteristicile de puritate ridicată, stabilitate ridicată, rezistență excelentă la coroziune etc. și poate oferi performanțe stabile pe termen lung în mediul dur de lucru al reactoarelor epitaxiale. Așteptăm cu nerăbdare să stabilim un parteneriat strategic pe termen lung cu dumneavoastră.
Piesă semilună acoperită cu carbură de tantal pentru LPE

Piesă semilună acoperită cu carbură de tantal pentru LPE

VeTek Semiconductor este un furnizor principal de piese semilună acoperite cu carbură de tantal pentru LPE în China, concentrându-se pe tehnologia de acoperire TaC de mulți ani. Piesa noastră semilună acoperită cu carbură de tantal pentru LPE este proiectată pentru procesul de epitaxie în fază lichidă și poate rezista la temperaturi ridicate de peste 2000 de grade Celsius. Cu o performanță excelentă a materialelor și inovare în proces, viața produsului nostru este la cel mai bun nivel din industrie. VeTek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare să fie partenerul tău pe termen lung în China.
În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept